Разработан и утвержден тип стандартного образца параметров шаговой структуры в тонком слое монокристаллического кремния ГСО 10030–2011, предназначенного для калибровки просвечивающих электронных микроскопов в диапазоне увеличений 1000 – 1500000´. Аттестуемые параметры– значения шага шаговой структуры и расстояние между плоскостями (111) монокристаллического кремния в материале образца– независимо прослеживаются к единице длины – метру.
The reference material of pitch structure parameters in a thin layer of monocrystal silicon is developed. This reference material #10030-2011 has been certified and is intended for transmission electron microscope calibration in the range of magnification values 1000-1500000´. The certification parameters are the pitch of the pitch structure and the (111) lattice spacing of monocrystal silicon in reference material. Both are independently traceable to the SI length unit – meter.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.