|сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Образование окисной пленки на поверхности кремниевой рельефной структуры в процессе плазменной очистки
Аннотация
Обнаружен эффект контаминации на поверхности кремниевой рельефной структуры в процессе плазменной очистки. Исследована кинетика роста окисной пленки и изменение размеров элементов структуры.
Об авторах
В. П. Гавриленко
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
А. Ю. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
В. Б. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
М. А. Степович
Калужский государственный университет им. К. Э. Циолковского»
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
М. Н. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН
Россия
Россия
Д. А. Карабанов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
Список литературы
1. Гавриленко В. П., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Раков А. В., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Шаронов В. А. Влияние контаминации в растровых электронных микроскопах на профиль рельефных элементов в монокристаллическом кремнии // Метрология. 2012. № 8. С. 15-23.
2. Гавриленко В. П., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Раков А. В., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Шаронов В. А. Влияние контаминации в низковольтном растровом электронном микроскопе на профиль рельефных элементов нанометрового диапазона // Нано- и микросистемная техника. 2013. № 1. С. 2-5.
3. Кузин А. Ю., Куприянова Т. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Швындина Н. В., Шкловер В. Я. Электронно-зондовое определение углерода в условиях образования пленки поверхностных загрязнений // Метрология. 2012. № 11. С. 24-33.
4. Ларионов Ю. В., Митюхляев В. Б., Филиппов М. Н. Влияние загрязнений образцов в РЭМ на измерение линейных размеров // Поверхность. Рентгеновские, нейтронные и синхротронные исследования. 2008. № 9. С. 53-64.
5. Gavrilenko V. P., Mityukhlyaev V. B., Novikov Yu. A., Ozerin Yu. V., Rakov A. V., Todua P. A. Test object of the linewidth with a trapezoidal profile and three certified sizes for an SEM and AFM // Measur. Sci. and Technol. 2009. V. 20. P. 084022-1-084022-7.
6. Philibert J., Tixier R. Electron probe microanalysis of transmission electron microscope specimens / Eds.B. Siegel, D. R. Beaman // Physical Aspects of Electron Microscopy and Microbeam Analysis. N.Y.: Wiley., 1975. P. 333-354.
7. Блохин М. А., Швейцер И. Г. Рентгеноспектральный справочник. М.: Наука, 1982.
8. Kanaya K., Okayama S. Penetration and energy-loss theory of electrons in solid targets // J. Phys. Devices: Appl. Phys. 1972. V. 5. P. 43-58.
Рецензия
Для цитирования:
Гавриленко В.П., Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б., Степович М.А., Тодуа П.А., Филиппов М.Н., Карабанов Д.А. Образование окисной пленки на поверхности кремниевой рельефной структуры в процессе плазменной очистки. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2015;(8):71-72.
Просмотров:
85
Послать статью по эл. почте 