Для цитирования:
Гавриленко В.П., Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б., Степович М.А., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Измерения толщины оксидной пленки на поверхности кремния электронно-зондовым методом. Измерительная техника. 2015;(9):13-16.
Просмотров PDF (Rus): 7
JATS XML
Послать статью по эл. почте 