Открытый доступ
Только для подписчиков
Программно-аппаратные средства измерений перемещений образца в зондовом микроскопе
https://doi.org/10.32446/0368-1025it.2018-10-24-27
Аннотация
Рассмотрены особенности измерения перемещения образца системой позиционирования зондового микроскопа при исследованиях участков поверхности, превышающих поле зрения микроскопа. Показана необходимость согласования шага позиционирования и поля зрения микроскопа. Описано использование датчика ускорения и метода статистической дифференциации перекрывающихся изображений для измерения перемещения образца. Установлено, что комплексирование результатов измерений, полученных указанным методом, а также с использованием датчика ускорения, позволяет повысить их достоверность.
Об авторах
П. В. Гуляев
Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения РАН
Россия
Россия
Е. Ю. Шелковников
Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения РАН
Россия
Россия
А. В. Тюриков
Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения РАН
Россия
Россия
Список литературы
1. Hongzhuang Zhang, Ping Zeng, Shunming Hua, Guangming Cheng, Zhigang Yang. Impact drive rotary precision actuator with piezoelectric bimorphs // Front. Mech. Eng. China. 2005. № 3(1). P. 71-75. DOI: 10.1007/s11465-008-0008-3.
2. Pohl D. W. Sawtooth Nanometer Slider: A versatile low voltage piezoelectric translation device // Surf. Sci. (Special Iss.). 1987. V. 181 (1/2). P. 174-175.
3. Липанов А. М., Гуляев П. В., Шелковников Е. Ю., Тюриков А. В. Инерционный пьезоэлектрический привод с магнитоиндукционным датчиком скорости // Датчики и системы. 2012. № 5 (156). С. 52-54.
4. Гуляев П. В., Шелковников Е. Ю., Тюриков А. В., Кириллов А. И. Многопроходовый метод определения взаимного смещения перекрывающихся изображений наночастиц // Химическая физика и мезоскопия. 2015. Т.17. № 4. С. 651-656.
5. Завалишин Н. В., Мучник И. Б. Модели зрительного восприятия и алгоритмы анализа изображений. М.: Наука, 1974.
6. Mokhtarian F., Abbasi S., Kittler J. Efficient and Robust Retrieval by Shape Content through Curvature Scale Space // Intern. workshop on image data bases and multimedia search. 1998. P. 35-42. DOI:10.1142/9789812797988_0005.
7. Белоус Н. В., Кобзарь Г. А. Метод быстрого построения масштабно-пространственных представлений кривизны для распознавания форм в условиях ограниченного времени // Искусственный интеллект. 2009. № 3. С. 357-366.
Рецензия
Для цитирования:
Гуляев П.В., Шелковников Е.Ю., Тюриков А.В. Программно-аппаратные средства измерений перемещений образца в зондовом микроскопе. Измерительная техника. 2018;(10):24-27. https://doi.org/10.32446/0368-1025it.2018-10-24-27
For citation:
Gulyaev P.V., Shelkovnikov E.Yu., Tyrikov A.V. Hardware-software for measurement of probe microscope sample movements Hardware-software for measurement of probe microscope sample movements. Izmeritel`naya Tekhnika. 2018;(10):24-27. (In Russ.) https://doi.org/10.32446/0368-1025it.2018-10-24-27
Просмотров: 12
Послать статью по эл. почте 