О латеральном разрешении интерференционного микроскопа
Abstract
The description of spatial resolution measurements of automated interference microscope based on Linnik microinterferometer MII-4M is given. A comparison of obtained results with similar values calculated for conventional optical images described by the Abbe theory is carried out. The possibility to overcome the diffraction limit of resolution by means of interference microscope is proved.
About the Authors
Г. Левин
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Russian Federation
Russian Federation
Г. Вишняков
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Russian Federation
Russian Federation
Н. Моисеев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Russian Federation
Russian Federation
В. Минаев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Левин Г. Г., Моисеев Н. Н. Сверхразрешающая оптическая микроскопия живых объектов / Наноматериалы и нанотехнологии в живых системах. Безопасность и наномедицина: Тез. лекций и докл. 2-й Междунар. шк. Моск. обл., 2011. С. 39.
2. Ravikiran Attota, Thomas A. Germer, Richard M. Silver. Through-focus scanning-optical-microscope imaging method for nanoscale dimensional analysis // Оptics Letters. 2008. V. 33. N 17. P.
3. Тычинский В. П. и др. Измерения субмикронных структур на лазерном фазовом микроскопе «Эйрискан» // Квантовая электроника. 1997. 24. № 8. С. 754–758.
4. Тычинский В. П. Сверхразрешение и сингулярности в фазовых изображениях //УФН. 2008. Т. 178. С. 1205–1214.
5. Минаев В. Л. Интерференционный микроскоп для измерения формы поверхности в микро и нанодиапазонах // Метрология. 2012. № 7. С. 19–24.
6. Levin G. e. a. Definition of object near nanometer shifting by 2D optical path difference / Automation, Control and Information Technology: Proc. IASTED Intern. сonf. 2010. V. 1. Р. 282–286.
7. Скворцов Г. Е. и др. Микроскопы. Л.: Машиностроение, 1969.
Review
For citations:
, , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2013;(5):16-19. (In Russ.)
Views:
85
Email this article 