Способ оценки стабильности масштабного коэффициента просвечивающего электронного микроскопа
Abstract
The method of transmission electron microscope JEM-2100 scale factor stability estimation by means of a test-object made of a thin section of crystalline silicon relief nanostructure with known profile shape is suggested. The results of experimental estimation obtained over two week period are presented.
About the Authors
А. Заблоцкий
Московский физико-технический институт, Долгопрудный
Russian Federation
Russian Federation
А. Авилов
Институт кристаллографии им. А. В. Шубникова РАН, Москва
Russian Federation
Russian Federation
Д. Бодунов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
А. Кузин
Московский физико-технический институт, Долгопрудный
Russian Federation
Russian Federation
А. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
А. Кузьмин
Московский физико-технический институт, Долгопрудный
Russian Federation
Russian Federation
П. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Williams D. B., Carter C. B. Transmission Electron Microscopy: A textbook for Materials Science. N. Y.: Springer, 2009.
2. Filippov M. N. e. a. Reference material for transmission electron microscope calibration // Meas. Sci. Technol. 2011. V. 22. N 9. P. 094014–094019.
3. Бодунов Д. С. и др. Стандартный образец для калибровки просвечивающих электронных микроскопов // Измерительная техника. 2012. № 10. С. 16–18; Bodunov D. S. e. a. Standard sample for calibration of transmission electron microscopes nanometrology // Measurement Techniques. 2012. V. 55. N 10. P. 1137–1140.
Review
For citations:
, , , , , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2013;(5):14-16. (In Russ.)
Views:
70
Email this article 