|Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Новый алгоритм моделирования видеосигнала в измерительном сканирующем электронном микроскопе
Abstract
The main ideas about physical processes of video signal formation in scanning microscope SEM are shortly described. On these ideas and corresponding quantitative expressions (the analytical model) is built a new “library” algorithm of video signal modeling in SEM. The testing of given algorithm shows its acceptable accuracy, the detailed conformity of model video signals to their experimental analogues. The unsurpassed high productivity is achieved: less than one second is spent on calculation of model video signal consisting of 2.5 thousand points using the ordinary PC! It is many thousands times faster than the modelling by using the widely spread Monte Carlo method.
About the Authors
Л. Гагарина
Национальный исследовательский университет МИЭТ
Russian Federation
Russian Federation
А. Никитин
Институт искусств и информационных технологий
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Никитин А. В. Использование математического моделирования для измерений нано-размеров в микроэлектронике // Измерительная техника. 2011. № 12. С. 25-29.
2. Никитин А. В. Проблемы измерений размеров в микроэлектронной технологии // Измерительная техника. 2012. № 8. С. 15-20.
3. Newbury D. E., Joy D. C., Echlin P., Fiory C. E., Goldstein J. I. Advanced Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis // N.Y., London: Plenum press, 1987.
4. Амосов Р. М., Кузнецова В. В., Никитин А. В. Характеристики потока вторичных электронов, формирующих видеосигнал в РЭМ // Электронная техника. Микроэлектроника. 1982. Вып. 5-6. С. 43-49.
5. Никитин А. В. Моделирование процессов получения и контроля микроизображений в микроэлектронике: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. докт. физ.-мат. наук. М., 1992.
6. Babin S., Borisov S., Ivanchikov A. Monte-Carlo modeling of SEM using CHARIOT software and opportunity for calibration of linewidth metrology // Scanning. 2007. V. 29. N. 2. P. 80-84.
7. Lowney J. R. Application of Monte Carlo to simulations to critical dimension metrology in a scanning e lectron microscope // Scanning Microscopy. 1996. N. 10(3). P. 667-678.
8. Lowney J. R. MONSEL II: Monte Carlo simulation of SEM signals for linewidth metrology // Microbeam Anal. 1995. N. 4. P. 131-136.
9. Бахвалов Н.С., Жидков Н П, Кобельков Г. М. Численные методы. М.: Бином, 2011.
Review
For citations:
, . Izmeritel`naya Tekhnika. 2016;(1):65-68. (In Russ.)
Views:
67
Email this article 