сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Исследование свойств высокочувствительных термостабильных тонкоплёночных тензорезисторов для интегральных датчиков давления
Аннотация
Рассмотрены принцип работы и основные причины нестабильности тензометрических датчиков давления, работающих в жестких условиях эксплуатации. Предложены новые конструктивно-технологические решения по созданию высокочувствительных термостабильных тензорезисторов с применением новых материалов. Представлены технологические методы повышения стабильности параметров чувствительных элементов указанных датчиков.
Об авторах
И. В. Волохов
Научно-исследовательский институт физических измерений
Россия
Россия
С. А. Гурин
Научно-исследовательский институт физических измерений
Россия
Россия
И. Р. Вергазов
Научно-исследовательский институт физических измерений
Россия
Россия
Список литературы
1. Волохов И. В. Технологические методы повышения надежности тонкоплёночных тензорезисторных датчиков давления // Сборник докладов науч.-техн. конф. «Актуальные проблемы ракетно-космического приборостроения и информационных технологий». М.: Российский научно-исследовательский институт космического приборостроения, 2007 г.
2. Аверин И. А., Волохов И. В., Мокров Е. А., Печерская Р. М. Влияние переходных процессов в тонкоплёночной гетерогенной структуре на надежность чувствительных элементов тензорезисторных датчиков давления // Известия вузов. Поволжский регион. Технические науки. 2008. № 2. С. 123-127.
3. Лугин А. Н. Влияние термомеханических воздействий на температурную и временную стабильность сопротивления прецизионных тонкоплёночных резисторов // Электронная промышленность. 1995. № 1. С. 57-60.
4. Розенблат М. А. Микротроника - новое направление развития датчиков и исполнительных устройств // Приборы и системы управления. 1996. № 12. С. 49-57.
5. Тихоненков В. А., Мишин В. А., Тихонов А. И. Технология производства металлоплёночных датчиков механических величин. Учебное пособие для вузов / Ульяновск, Ульяновский гос. тех. ун-т, 2003.
6. Корляков А. В. Ростовые фазовые политипные превращения при эпитаксии карбида кремния и нитрида алюминия: Автореф. дисс. на соиск. уч. степ. канд. физ.-мат. наук. Л.: ЛЭТИ, 1989.
7. Гурин С. А., Печерская Р. М. Особенности технологии получения структуры «нитрид алюминия на карбиде кремния» для чувствительного элемента // Известия вузов. Поволжский регион. Технические науки. 2014. № 1. С. 46-53.
8. Мокров Е. А., Белозубов Е. М., Тихомиров Д. В. Минимизация погрешности тонкоплёночных тензорезисторных датчиков давления при воздействии нестационарной температуры // Датчики и системы. № 1. 2004. С. 26-29.
9. Пат. № 1615578 РФ. Датчик давления / Е.М. Белозубов // Изобретения. 1994. Бюл. №17.
10. Мокров Е. А., Волохов И. В., Герасимов О. Н., Крысин Ю. М. Проектирование датчиков на основе тонкоплёночных технологий. Учебное пособие // Пенза : Информ.-изд. центр Пензенского гос. ун-та. 2007. С. 79.
11. Волохов И. В. Технологические методики повышения стабильности параметров тонкоплёночных тензорезисторных датчиков давления: Автореф. дисс. на соиск. уч. степ. канд. тех. наук. П.: Информ.-изд. центр Пензенского гос. ун-та. 2008. П. 2008.
Рецензия
Для цитирования:
Волохов И.В., Гурин С.А., Вергазов И.Р. Исследование свойств высокочувствительных термостабильных тонкоплёночных тензорезисторов для интегральных датчиков давления. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2016;(1):55-60.
Просмотров:
109
Послать статью по эл. почте 