сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Калибровка растровых электронных микроскопов в широком диапазоне увеличений
Аннотация
Предложен новый метод калибровки растровых электронных микроскопов в диапазоне увеличений 10-50000× с использованием концевой меры и вспомогательной структуры. Применение поверенной концевой меры обеспечивает прослеживаемость результатов калибровки к первичному эталону метра. Для увеличений 1000, 10000 и 50000× при калибровке растрового электронного микроскопа S-4800 относительная расширенная неопределённость измерений составила менее 0,14 %.
Об авторах
Р. В. Киртаев
Московский физико-технический институт
Россия
Россия
А. Ю. Кузин
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Россия
Россия
В. Г. Маслов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
В. Б. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Московский физико-технический институт
Россия
Россия
М. Н. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н.С.Курнакова РАН
Россия
Россия
Список литературы
1. Дж. Гоулдстейн, Д. Ньюбери, П. Эчлин, Д. Джой, Ч. Фиори, Э.Лифшин. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. М.: Мир, 1984.
2. ASTM E 766-98 (2008). Standard Practice for Calibration the Magnification of a Scanning Electron Microscope.
3. Новиков Ю. А., Озерин Ю. В., Плотников Ю. И., Раков А. В., Тодуа П. А. Линейная мера микрометрового и нанометрового диапазонов для растровой электронной и атомно-силовой микроскопии // Труды ИОФАН. 2006. Т. 62. С. 36-76.
4. Гоголинский К., Усеинов А., Кузнецов А., Решетов В., Голубев С. Метрологическое обеспечение измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне // Наноиндустрия. 2012. №1. С. 48-52.
5. Kanaya K., Okayama S. Penetration and energy-loss theory of electrons in solid targets // J. Phys. D. 1972. V. 5. Nо. 1. P. 43-58.
Рецензия
Для цитирования:
Киртаев Р.В., Кузин А.Ю., Маслов В.Г., Митюхляев В.Б., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Калибровка растровых электронных микроскопов в широком диапазоне увеличений. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2016;(12):7-10.
Просмотров:
128
Послать статью по эл. почте 