Особенности проведения испытаний на герметичность миниатюрных газонаполненных разрядников в условиях нестабильной работы ионного источника масс-спектрометра

The paper presents the results of the development of the technique for checking the tightness of miniature gas-filled spark gaps. Mainly, this is due to the problem of the presence of instability in the operation of the ion source of the mass spectrometer, because of the cathode that has exhausted its resource. Wherein, theoretical and practical approaches to solving this problem are considered. Solutions are proposed, including methodological ones, aimed at minimizing the loss of useful mass spectrometric information in conditions of a temporary decrease in the sensitivity of the gas analyzer. The necessity of taking certain measures to prevent the appearance of uncharacteristic distortions of the recorded mass spectrograms is shown.

ионный источник, катод, деградационный отказ, математическое моделирование, способ накопления, газонаполненные приборы, вакуумная установка финишного контроля герметичности, квадрупольный масс-спектрометр, изотропность, трибологический фактор, ion source, cathode, degradation failure, mathematical modeling, method of accumulation, gas-filled devices, vacuum installation for the final leak test, quadrupole mass spectrometer, isotropy, tribological factor

1. Бушин С. А. Методика высокочувствительного контроля герметичности газонаполненных разрядников по истечению неона // Вакуумная техника и технология. 2012. Т. 22. № 2. С. 98-99.

2. ГОСТ 24054-80. Методы испытаний на герметичность. Общие требования. М.: «Издательство стандартов», 1987.

3. ОСТ 11 0808-96. Контроль неразрушающий. Методы течеискания.

4. Бушин C. А. Особенности методики контроля герметичности газонаполненных разрядников // Вакуумная техника и технологии - 2017: Труды 24-й Всерос. науч.-техн. конф. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2017.

5. Вентцель Е. С. Теория вероятностей. М.: Наука, 1964.

6. Владимиров Г. Г. Физическая электроника. Ч. 1. Термоэлектронная эмиссия: Учебно-методическое пособие. Санкт-Петербург, 2007.