Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Тонкопленочный емкостный датчик давления
Abstract
The results of theoretical and experimental studies of capacitive thin film sensors for static and pulsed pressure measurement are presented. With this aim the membrane of sensor is manufactured from Fe-Ni alloy.
About the Authors
А. Казарян
Центральный аэрогидродинамический институт им. Н. Е. Жуковского
Russian Federation
Russian Federation
Е. Стрельцов
Центральный аэрогидродинамический институт им. Н. Е. Жуковского
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Казарян А. А. Пленочные датчики давления. М.: Бумажная галерея, 2006.
2. Пат. 2157978 РФ. Устройство для изготовления мембраны емкостных датчиков давления и способ изготовления мембраны емкостных датчиков давления / А. А. Казарян // Изобретения. Полезные модели. 2000. № 29.
3. Пат. 2336505 РФ. Устройство для изготовления тонкопленочных емкостных чувствительных элементов способ их сборки / А. А. Казарян, Н. А. Езеев, А. Н. Шестапалов // Изобретения. Полезные модели. 2008. № 29.
4. Нурберт Г. П. Измерительные преобразователи неэлектрических величин. Л.: Энергия, 1970.
5. Казарян А. А. Метод измерения пульсации давления тонкопленочным емкостным датчиком // Измерительная техника. 2013. № 7. С. 42-45; Kazaryan A. A. A Method of Measuring Pressure Pulsations by Means of Thin-Film Capacitance Sensors // Measurement Techniques. 2013. V. 56. N. 7. P. 791-796.
6. Пат. 2485464 РФ. Емкостной датчик давления / А. А. Казарян// Изобретения. Полезные модели. 2013. № 17.
7. ГОСТ 8.401-80. ГСИ. Классы точности средств измерений. Общие требования.
8. Пат. 2476842 РФ. Устройство для измерения давления, температуры и теплового потока / А. А. Казарян // Изобретения. Полезные модели. 2013. № 6.
Review
For citations:
, . Izmeritel`naya Tekhnika. 2014;(12):29-33. (In Russ.)
Views:
75
Email this article 