сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Тонкопленочный емкостный датчик давления
Аннотация
Приведены результаты теоретического и экспериментального исследований тонкопленочных емкостных датчиков для измерений статического и пульсирующего давлений. Мембрана датчика изготовлена из сплава Fe-Ni.
Ключевые слова
Об авторах
А. А. Казарян
Центральный аэрогидродинамический институт им. Н. Е. Жуковского
Россия
Россия
Е. В. Стрельцов
Центральный аэрогидродинамический институт им. Н. Е. Жуковского
Россия
Россия
Список литературы
1. Казарян А. А. Пленочные датчики давления. М.: Бумажная галерея, 2006.
2. Пат. 2157978 РФ. Устройство для изготовления мембраны емкостных датчиков давления и способ изготовления мембраны емкостных датчиков давления / А. А. Казарян // Изобретения. Полезные модели. 2000. № 29.
3. Пат. 2336505 РФ. Устройство для изготовления тонкопленочных емкостных чувствительных элементов способ их сборки / А. А. Казарян, Н. А. Езеев, А. Н. Шестапалов // Изобретения. Полезные модели. 2008. № 29.
4. Нурберт Г. П. Измерительные преобразователи неэлектрических величин. Л.: Энергия, 1970.
5. Казарян А. А. Метод измерения пульсации давления тонкопленочным емкостным датчиком // Измерительная техника. 2013. № 7. С. 42-45; Kazaryan A. A. A Method of Measuring Pressure Pulsations by Means of Thin-Film Capacitance Sensors // Measurement Techniques. 2013. V. 56. N. 7. P. 791-796.
6. Пат. 2485464 РФ. Емкостной датчик давления / А. А. Казарян// Изобретения. Полезные модели. 2013. № 17.
7. ГОСТ 8.401-80. ГСИ. Классы точности средств измерений. Общие требования.
8. Пат. 2476842 РФ. Устройство для измерения давления, температуры и теплового потока / А. А. Казарян // Изобретения. Полезные модели. 2013. № 6.
Рецензия
Для цитирования:
Казарян А.А., Стрельцов Е.В. Тонкопленочный емкостный датчик давления. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2014;(12):29-33.
Просмотров:
74
Послать статью по эл. почте 