сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Разработка пьезодатчиков динамической деформации на основе способа горячей поляризации сегнетоэлектрических плёнок цирконата-титаната свинца
Аннотация
Описан способ горячей периодической пилообразной поляризации тонких сегнетоэлектрических плёнок цирконата-титаната свинца, осаждённых методом реактивного высокочастотного распыления на металлическую фольгу. Представлены результаты разработки пьезодатчиков динамической деформации генераторного типа.
Об авторах
Ю. В. Есипов
Южный научный центр РАН
Россия
Россия
С. В. Бирюков
Южный научный центр РАН
Россия
Россия
С. И. Масычев
Южный научный центр РАН
Россия
Россия
В. М. Мухортов
Южный научный центр РАН
Россия
Россия
Список литературы
1. Бирюков С. В., Головко Ю. И., Дудкевич В. П., Марголин А. М., Мухортов В. М., Фесенко Е. Г. // Электронная промышленность. 1983. № 8. С. 47-53.
2. Мухортов В. М., Головко Ю. И., Толмачев Г. Н., Мащенко А. И. Гетероэпитаксиальный рост пленок сложного оксида из самоорганизованной системы, образующейся в плазме газового разряда //ЖТФ. 1999. Т. 69. Вып. 12. С. 87-91.
3. Mukhortov V. M., Golovko Yu. I., Tolmachev G. N., Klevtsov A. N. The synthesis mechanism of complex oxide films formed in dense RF - plasma by reactive sputtering of stoichiometric targets he synthesis mechanism of complex oxide films formed in dense RF - plasma by reactive sputtering of stoichiometric targets // Ferroelectrics. 2000. V. 247. N. 1-3. P. 75-83.
4. Бирюков С. В., Мухортов В. М., Мухортов Вас. М. Новый датчик динамической деформации на основе тонких пьезоэлектрических пленок, полученных ионно-плазменным напылением // Мир измерений. 2007. № 7. С. 45-61.
5. Есипов Ю. В., Мухортов В. М. Интегральные датчики динамической деформации на основе тонких сегнетоэлектрических пленок для мониторинга сложных механических систем // ЖТФ. 2009. Т. 51. № 1. С. 78-81.
6. Есипов Ю. В., Мухортов В. М., Пойда И. И. Разработка устройства местоопределения ударов в тонкостенных конструкциях на основе сегнетоэлектрических датчиков деформации // Измерительная техника. 2012. № 4. С. 42-45.
7. Esipov Yu. V. Experimental validation of the spectral criterion for the diagnosis of periodic rod structures using ferroelectric strain gauges// J. Appl. Mechan. Techn. Phys. 2013. V. 54. N. 2. Р. 156-160.
8. Мухортов В. М., Колесников В. В., Бирюков С. В. Особенности динамики переключения поляризации в тонких пленках цирконата-титаната свинца //ЖТФ. 2005. Т. 75. Вып. 8. С. 126-131.
9. Бирюков С. В., Головко Ю. И. , Масычев С. И., Мухортов В. М., Шелепо А. П. Исследование пьезоактивности тонких пленок цирконата-титаната свинца // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 8. С. 90-93.
10. Пронин И. П., Тараканов E. A., Каптелов Е. Ю., Шаплыгина T. A., Афанасьев В. П., Панкрашкин А. В. Самополяризация и миграционная поляризация в тонких пленках цирконата-татаната свинца // ФТТ. 2002. Т. 44. № 4. С. 739-744.
11. Baek S. H., Park J., Kim D. M., Aksyuk V. A., Das R. R., Bu S. D., Felker D. A., Lettieri J., Vaithyanathan V., Bharadwaja S. S. N., Bassiri-Gharb N., Chen Y. B., Sun H. P., Folkman C. M., Jang H. W., Kreft D. J., Streiffer S. K., Ramesh R., Pan X. Q., Trolier-McKinstry S., Schlom D. G., Rzchowski M. S., Blick R. H., Eom C. B. Giant Piezoelectricity on Si for Hyperactive MEMS // Sci. Reports. 2011. V. 334. N. 18. P. 958-961.
12. Пронин И. П., Каптелов Е. Ю., Гольцев А. В., Афанасьев В. П. Вклад механических напряжений в самополяризацию тонких сегнетоэлектрических пленок // ФТТ. 2003. Т. 45. № 9. С. 1685-1690.
13. Roytburd A. L., Alpay S. P., Nagarajan V., Ganpule C.S., Aggarwal S., Williams E.D., Rameshet R. Measurement of internal stresses via the polarization in epitaxial ferroelectric films // Phys. Rev. Lett. 2000. V. 85. N. 1. P. 190-193.
14. Alemany C., Jimenez R., Revilla J. Pulsed hysteresis loops on ferroelectric thin films // J. Phys. D: Appl. Phys. 1999. V. 32. P. L79-L82.
15. Анохин А. С., Мухортов В. М., Головко Ю. И., Широков В. Б., Юзюк Ю. И. Динамика решетки эпитаксиальной пленки титаната бария-стронция во внешнем электрическом поле// Вестник Южного научного центра. 2012. Т. 8. № 3. С. 22-31.
Рецензия
Для цитирования:
Есипов Ю.В., Бирюков С.В., Масычев С.И., Мухортов В.М. Разработка пьезодатчиков динамической деформации на основе способа горячей поляризации сегнетоэлектрических плёнок цирконата-титаната свинца. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2016;(4):55-58.
Просмотров:
98
Послать статью по эл. почте 