Анализ факторов, влияющих на погрешность трёхмерной реконструкции поверхности объектов с субмикрометровым рельефом, по полученным в растровом электронном микроскопе стереоизображениям

Анализ факторов, влияющих на погрешность трёхмерной реконструкции поверхности объектов с субмикрометровым рельефом, по полученным в растровом электронном микроскопе стереоизображениям

А. Кузин, А. Васильев, В. Митюхляев, А. Михуткин, П. Тодуа, М. Филиппов

Full Text:

PDF (Rus)

Generate QR code

Abstract

The results of analysis are presented of factors influencing the systematic error of 3D reconstruction of surface reliefs, based on stereo images obtained by SEM S-4800. The typical size for the surface relief elements is less than 1 µm. The main sources of the error are found. It is shown that for typical samples the main factor influencing the systematic error of 3D reconstruction is the parallax measurement error.

Keywords

растровый электронный микроскоп, стереоизображения, трёхмерная реконструкция поверхности, субмикронный рельеф, scanning electron microscope (SEM), stereo images, 3D surface reconstruction, submicron relief

About the Authors

А. Кузин

Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Russian Federation

А. Васильев

Институт кристаллографии РАН
Russian Federation

В. Митюхляев

Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Russian Federation

А. Михуткин

Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»
Russian Federation

П. Тодуа

Московский физико-технический институт
Russian Federation

М. Филиппов

Московский физико-технический институт
Russian Federation

References

1. Goldstein J., Newbury D., Joy D. Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis// Third Edition. New York: Kluwer Academic, Plenum Publishers, 2003.

2. Piazzesi G. Photogrammetry with the scanning electron microscope // J. Phys. E: Sci. Instrum. 1973. V. 6. N. 4. P. 392-396.

3. Marinello F., Bariani P., Savio E., Horsewel A., Chiffre L. Critical factors in SEM 3D stereo microscopy // Meas. Sci. Technol. 2008. V. 19. N. 6. 065705-1-065705-12. Carli L., Genta G., Cantatore A., Barbato G., Chiffre L., Levi R. Uncertainty evaluation for three-dimensional scanning electron microscope reconstructions based on the stereo-pair technique // Meas. Sci. Technol. 2011. V. 22. N. 3. 035103-1-035103-11.

4. Bariani P, De Chiffre L, Hansen H. N., Horsewell A. Investigation on the traseability of three-dimensional acaning electron microscope measurements based on the stereo-pair technique // Precis. Eng. 2005. V. 29. Р. 219-228.

5. ГОСТ Р 8.736-2011. ГСИ. Измерения прямые многократные. Методы обработки результатов измерений. Основные положения.

6. ГОСТ Р 8.636-2007. ГСИ. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки.

7. Гавриленко В. П., Карабанов Д. А., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Михуткин А. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Баймухаметов Т. Н., Васильев А. Л. Трехмерная реконструкция поверхности рельефных структур по стереоизображениям, полученным в растровом электронном микроскопе // Измерительная техника. 2015. № 3. С. 15-18.

Review

For citations:

, , , , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2016;(3):20-23. (In Russ.)

ISSN 0368-1025 (Print)
ISSN 2949-5237 (Online)

Username
Password
	Remember me
Not a user? Register with this site Forgot your password?

User

Izmeritel`naya Tekhnika