|сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Анализ факторов, влияющих на погрешность трёхмерной реконструкции поверхности объектов с субмикрометровым рельефом, по полученным в растровом электронном микроскопе стереоизображениям
Аннотация
Представлены результаты исследований факторов, влияющих на систематическую погрешность трёхмерной реконструкции рельефа поверхности объектов по полученным в РЭМ S-4800 стереоизображениям. Характерный размер элементов поверхностного рельефа менее 1 мкм. Выявлены основные составляющие указанной погрешности. Показано, что для типичных образцов погрешность измерения параллакса является основным фактором, определяющим систематическую погрешность трёхмерной реконструкции.
Об авторах
А. Ю. Кузин
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Россия
Россия
А. Л. Васильев
Институт кристаллографии РАН
Россия
Россия
В. Б. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
А. А. Михуткин
Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Московский физико-технический институт
Россия
Россия
М. Н. Филиппов
Московский физико-технический институт
Россия
Россия
Список литературы
1. Goldstein J., Newbury D., Joy D. Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis// Third Edition. New York: Kluwer Academic, Plenum Publishers, 2003.
2. Piazzesi G. Photogrammetry with the scanning electron microscope // J. Phys. E: Sci. Instrum. 1973. V. 6. N. 4. P. 392-396.
3. Marinello F., Bariani P., Savio E., Horsewel A., Chiffre L. Critical factors in SEM 3D stereo microscopy // Meas. Sci. Technol. 2008. V. 19. N. 6. 065705-1-065705-12. Carli L., Genta G., Cantatore A., Barbato G., Chiffre L., Levi R. Uncertainty evaluation for three-dimensional scanning electron microscope reconstructions based on the stereo-pair technique // Meas. Sci. Technol. 2011. V. 22. N. 3. 035103-1-035103-11.
4. Bariani P, De Chiffre L, Hansen H. N., Horsewell A. Investigation on the traseability of three-dimensional acaning electron microscope measurements based on the stereo-pair technique // Precis. Eng. 2005. V. 29. Р. 219-228.
5. ГОСТ Р 8.736-2011. ГСИ. Измерения прямые многократные. Методы обработки результатов измерений. Основные положения.
6. ГОСТ Р 8.636-2007. ГСИ. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки.
7. Гавриленко В. П., Карабанов Д. А., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Михуткин А. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Баймухаметов Т. Н., Васильев А. Л. Трехмерная реконструкция поверхности рельефных структур по стереоизображениям, полученным в растровом электронном микроскопе // Измерительная техника. 2015. № 3. С. 15-18.
Рецензия
Для цитирования:
Кузин А.Ю., Васильев А.Л., Митюхляев В.Б., Михуткин А.А., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Анализ факторов, влияющих на погрешность трёхмерной реконструкции поверхности объектов с субмикрометровым рельефом, по полученным в растровом электронном микроскопе стереоизображениям. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2016;(3):20-23.
Просмотров:
55
Послать статью по эл. почте 