Система спектрального контроля нанесения многослойных диэлектрических покрытий
Аннотация
Создана система прецизионного спектрального контроля толщин слоев многослойных диэлектрических покрытий в широком спектральном диапазоне. Приведен пример использования системы для изготовления просветляющего покрытия с максимальным коэффициентом отражения 0,15 % в спектральном диапазоне 400–660 нм на вакуумной установке ВУ-2М.
Об авторах
В. А. Лабусов
Институт автоматики и электрометрии СO РАН
Россия
Россия
З. В. Семенов
Институт автоматики и электрометрии СO РАН
Россия
Россия
И. А. Зарубин
Институт автоматики и электрометрии СO РАН
Россия
Россия
М. С. Саушкин
Институт автоматики и электрометрии СO РАН
Россия
Россия
Г. В. Эрг
Институт лазерной физики СО РАН
Россия
Россия
С. И. Ковалев
Институт лазерной физики СО РАН
Россия
Россия
Список литературы
1. Badoil B. e.a. Manufacturing of an absorbing filter controlled by a broadband optical monitoring // OSA. Opt. Express. 2008. V. 16. N 16. P. 12008–12017
2. Wilbrandt S. e. a. In-situ broadband monitoring and characterization of optical coatings // Opt. Soc. Amer. 2004.
3. Лабусов В.А. и др. Многоканальный спектрометр «Колибри-2» и его использование для одновременного определения щелочных и щелочноземельных металлов методом пламенной фотометрии // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. Спец. выпуск. 2007. Т. 73. N S. С. 35–39
4. Tikhonravov A.V., Trubetskov M.K. Computational manufacturing as a bridge between design and production // OSA, Appl. Opt. 2005. V. 44. N 32. P. 6877–6884
5. Программный пакет “OptiLayer thin film software” [электрон. ресурс] http://www.optilayer.com дата обращения: 23.05.2013 г.
6. Schulz U. Wideband antireflection coatings by combining interference multilayers with structured top layers // Opt. Express. 2009. V. 17. N 11. P. 8704–8708.
Рецензия
Для цитирования:
Лабусов В.А., Семенов З.В., Зарубин И.А., Саушкин М.С., Эрг Г.В., Ковалев С.И. Система спектрального контроля нанесения многослойных диэлектрических покрытий. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2013;(12):11-14.
Просмотров:
67
Послать статью по эл. почте 