Аттестация двухканальной автоматизированной системы синтеза инфракрасных изображений для тестирования матричных фотоприёмников

При создании высокоэффективных чувствительных матричных фотоприёмных устройств необходимо проводить их тестирование с помощью специализированных систем. Разработаны программа и методика первичной (периодической) аттестации двухканальной автоматизированной системы синтеза динамических и статических инфракрасных изображений, предназначенной для контроля характеристик матричного фотоприёмного устройства. Описана методика аттестации основных характеристик системы: точности позиционирования трёхкоординатного устройства сканирования с числовым программным управлением; размера линейного поля в плоскости изображения каналов объекта и фона; рабочего спектрального диапазона и диапазона облучённости; диаметра точечного объекта и коэффициента концентрации энергии в пятне рассеивания объекта в плоскости изображения канала объекта. В системе реализовано независимое изменение уровней облучённости в оптическом канале объекта в диапазоне 10^–9–10^–6 Вт/см² и в канале фона в диапазоне 10^–9–10^–7 Вт/см^2. Минимальный размер динамического объекта не превышает 30 мкм, скорость его перемещения достигает 250 мкм/с. Трёхкоординатная система позиционирования обеспечивает перемещение объекта по координатным осям до 200 мм с погрешностью менее 2 мкм.

1. Козлов К. В., Патрашин А. И., Бурлаков И. Д., Бычковский Я. С., Дражников Б. Н., Кузнецов П. А. Современные инфракрасные фотоприёмные устройства для сканирующей аппаратуры дистанционного зондирования Земли (обзор) // Успехи прикладной физики. 2017. Т. 5. № 1. С. 63–79.

2. Greg Duane, Proc. SPIE 0931, Sensor Fusion, 9 August 1988, pp. 180–185, available at: https://doi.org/10.1117/12.946666(accessed: 10.12.2019).

3. ВерхоглядА. Г., Гибин И. С., ЕлесинА. Г., КасторскийЛ. Б., Кокарев С. А., Солдатенко А. В., Ступак М. Ф. Автоматизированная система синтеза ИК-изображений для тестирования характеристик матричных фотоприёмных устройств // Успехи прикладной физики. 2018. Т. 6. № 3. С. 260–268.

4. Верхогляд А. Г., Гибин И. С., Елесин А. Г., Макаров С. Н., Ступак М. Ф. Автоматизированное устройство измерения поперечного распределения энергии в пучке ИК излучения // Датчики и системы. 2018. № 8–9. C. 37–40.

5. Верхогляд А. Г., Гибин И. С., Елесин А. Г., Макаров С. Н.,Ступак М. Ф. Высокочувствительное устройство измерения коэффициента концентрации энергии при синтезе ИКизображений для тестирования характеристикматричных фотоприемных устройств // Прикладная физика. 2018. № 3. С. 79–84.

6. Гибин И. С., Колесников Г. В. Современные устройства измерения параметров и комплексного тестирования инфракрасных ФПУ и приборов (обзор) // Успехи прикладной физики. 2014. Т. 2. № 3. С. 293–302.

7. Курт В. И., Воронько М. Ю., Васильев Д. Ю. Измерительный стенд на основе микрозеркальной матрицы для измерения параметров оптико-электронных систем, работающих в инфракрасном диапазоне спектра // Труды XXIV Международной научно-технической конференции по фотоэлектронике и приборам ночного видения, 24–27 мая 2016, Москва. М.: АО ОРИОН, 2016. С. 268–270.

8. Kevin Sparkman, Joe LaVeigne, Jim Oleson, Greg Franks, Steve McHugh, John Lannon, and Steve Solomon, Proc. SPIE, 2008, no. 6942. DOI:10.1117/12.793171

9. Cole J. S. and Jolly A. C., Proc. SPIE, 1996, no. 2741, pp. 14–19. DOI:10.1117/12.241103

10. Jay James, Joe LaVeigne, Jim Oleson, Greg Matis, John Lannon, Scott Goodwin, Alan Huff man, Steve Solomon, and Paul Bryant, Proc SPIE, 2007, no. 6544, р. 654405. DOI:10.1117/12.720610

11. Bryant P., Oleson J., James J., McHugh S., Lannon J., Vellenga D., Goodwill S., Huff man A., Solomon S. L., and Goldsmith G. C., Proc. SPIE, 2005, no. 5785, р. 1. DOI:10.1117/12.603972

12. Bryant P., James J., Oleson J., McHugh S. W., and Solomon S., Proc. SPIE, 2003, no. 5092, р. 91. DOI:10.1117/12.498,066

13. Верхогляд, А. Д., Елесин А. Г., Ведерников В. М., Ступак М. Ф., Макаров С. Н. Результаты калибровки высокочувствительного устройства измерения параметров поперечного распределения энергии в пучке инфракрасного излучения // Измерительная техника. 2020. № 2. С. 33–37. DOI:10.32446/0368-1025it.2020-2-33-37