сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Измерение пространственных характеристик эрозионной лазерной плазмы кремния с помощью малогабаритных спектрометров высокого разрешения
https://doi.org/10.32446/0368-1025it.2021-1-38-42
Аннотация
Исследованы пространственные характеристики эрозионной лазерной плазмы. Рассмотрено применение малогабаритных спектрометров видимого и ультрафиолетового диапазонов для регистрации спектра излучения плазмы. Эрозионная лазерная плазма сформирована на поверхности кремниевой мишени под действием импульсного излучения лазера с длиной волны 1064 нм при нормальных атмосферных условиях. С использованием перемещаемой щелевой диафрагмы, ориентированной параллельно поверхности мишени, проведено сканирование лазерного плазменного факела. Излучение эрозионной лазерной плазмы зафиксировано с помощью малогабаритных спектрометров. На основании полученных спектров излучения плазмы выявлены зависимости интенсивности спектральных линий кремния от геометрического положения щелевой диафрагмы. Проведено сравнение интенсивностей спектральных линий кремния на полированной и шлифованной сторонах мишени.
Об авторах
Б. А. Лапшинов
Научно-исследовательский институт перспективных материалов и технологий
Россия
Россия
Борис Алексеевич Лапшинов
Москва
Н. И. Тимченко
Научно-исследовательский институт перспективных материалов и технологий
Россия
Россия
Николай Иванович Тимченко
Москва
Список литературы
1. Булаев С. А. Сущность импульсного лазерного напыления в вакууме как способа получения плёнок нанометровых толщин // Вестник Казанского технологического университета. 2014. Т. 17. № 18. С. 25–28.
2. Лунин Л. С., Лунина М. Л., Девицкий О. В., Сысоев И. А. Импульсное лазерное напыление тонких плёнок AlхGa1–хAs и GaP на подложках Si для фотопреобразователей // Физика и техника полупроводников. 2017. Т. 51. № 3. C. 403–407. https://doi.org/10.21883/FTP.2017.03.44216.8299
3. Сухов Л. Т. Лазерный спектральный анализ. Новосибирск: Наука, 1990. 143 с.
4. Harmon R. S., Lawley C. J. M., Watts J. et al., Minerals, 2019, vol. 9, iss. 12, 718. https://doi.org/10.3390/min9120718
5. Быковский Ю. А. Лазерно-плазменный источник ионов и ядер // Соросовский образовательный журнал. 1996. № 9. С. 107–112.
6. Мордик С. Н., Ерёменко В. М., Бугай А. Н. и др. Исследование лазерно-плазменного источника ионов с системой постоянных кольцевых магнитов // Журнал технической физики. 2017. Т. 87. № 5. С. 788–790. https:// doi.org/10.21883/JTF.2017.05.44457.1748
7. Воробьев В. С. Плазма, возникающая при взаимодействии лазерного излучения с твердыми мишенями // Успехи физических наук. 1993. Т. 163. № 12. С. 51–83. https://doi.org/10.3367/UFNr.0163.199312b.0051
8. Рэди Дж. Действие мощного лазерного излучения: Пер. с англ. М.: Мир, 1974. 468 c.
9. Тимченко П. Е., Маринин В. Л. Измерение характеристик и спектрального состава лазерной плазмы // Вестник Самарского государственного аэрокосмического университета имени академика С. П. Королёва. 2010. № 4 (24). С. 142–147.
10. Хайдуков Е. В., Новодворский О. А., Лотин А. А. и др. Зондовые исследования лазерного эрозионного факела при абляции кремния в вакууме // Журнал технической физики. 2010. Т. 80. № 4. С. 59–63.
11. Анисимов С. И., Имас Я. А., Романов Г. С., Ходыко Ю. В. Действие излучения большой мощности на металлы. М.: Наука, 1970. 272 c.
12. Лапшинов Б. А., Тимченко Н. И. Многоканальный измерительный комплекс на базе малогабаритных спектрометров высокого разрешения // Электроника: наука, технология, бизнес. 2019. № 186(5). С. 90–94. https://doi.org/10.22184/1992-4178.2019.186.5.90.94
13. Стриганов А. Р., Свентицкий Н. С. Таблицы спектральных линий нейтральных и ионизованных атомов. М: Атомиздат, 1966. 899 с.
Рецензия
Для цитирования:
Лапшинов Б.А., Тимченко Н.И. Измерение пространственных характеристик эрозионной лазерной плазмы кремния с помощью малогабаритных спектрометров высокого разрешения. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2021;(1):38-42. https://doi.org/10.32446/0368-1025it.2021-1-38-42
For citation:
Lapshinov B.A., Timchenko N.I. Measurement of the spatial characteristics of an erosive silicon laser plasma using small-sized high-resolution spectrometers. Izmeritel`naya Tekhnika. 2021;(1):38-42. (In Russ.) https://doi.org/10.32446/0368-1025it.2021-1-38-42
Просмотров:
78
Послать статью по эл. почте 