сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Изменение химического состава анализируемого объекта при низковольтном электронно-зондовом рентгеноспектральном микроанализе
Аннотация
Предложена феноменологическая модель оценки изменений состава анализируемого микрообъёма при низковольтном электронно-зондовом рентгеноспектральном микроанализе. Изменения обусловлены термическим воздействием электронного зонда. Выведены соотношения, связывающие метрологические характеристики низковольтного электронно-зондового рентгеноспектрального микроанализа с термодинамическими характеристиками образца и условиями эксперимента. Полученные результаты позволяют априорно выбирать режим проведения анализа, обеспечивающий устранение погрешностей, которые обусловлены термической неустойчивостью объекта исследований.
Об авторах
А. Ю. Кузин
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Россия
Россия
В. Б. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
М. Н. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН
Россия
Россия
Список литературы
1. Гавриленко В. П., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Степович М. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Измерение толщины окисной пленки на поверхности кремния электронно-зондовым методом // Измерительная техника. 2015. № 9. С. 13-16.
2. Филиппов М. Н. Оценка теплового воздействия электронного зонда в растровой электронной микроскопии и рентгеновском микроанализе // Известия АН. Сер. Физическая. 1993. Т. 57. № 8. С. 165-171.
3. Reimer L. Image formation in low-voltage scanning electron microscopy. SPIE Press, 1993. Т. 12.
4. Рау Э. И., Евстафьева Е. Н., Андрианов М. В. Механизмы зарядки диэлектриков при их облучении электронными пучками средних энергий //Физика твердого тела. 2008. Т. 50. №. 4. С. 599-607.
5. Шиллер З., Гайзик У., Панцер З. Электронно-лучевая технология. М.: Энергия, 1980.
6. Ефимов А.И., Белорукова Л.П., Василькова И.В., Чечев В.П. Свойства неорганических соединений. Справочник. Л.: Химия, 1983.
Рецензия
Для цитирования:
Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Изменение химического состава анализируемого объекта при низковольтном электронно-зондовом рентгеноспектральном микроанализе. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2016;(11):68-70.
Просмотров:
106
Послать статью по эл. почте 