Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Изменение химического состава анализируемого объекта при низковольтном электронно-зондовом рентгеноспектральном микроанализе
Abstract
A phenomenological model is proposed of estimating the composition changes of an analyzed microvolume at low-voltage electron probe X-ray microanalysis. The changes are caused by thermal effect of an electron probe. The relations are derived, connecting metrological characteristics of low-voltage electron probe X-ray microanalysis with thermodynamic characteristics of a specimen and the experiment conditions. The obtained results allow a priori to choose such mode of analysis, which can ensure elimination of errors induced by thermal instability of the object under investigation.
About the Authors
А. Кузин
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Russian Federation
Russian Federation
В. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Russian Federation
Russian Federation
П. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Russian Federation
Russian Federation
М. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Гавриленко В. П., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Степович М. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Измерение толщины окисной пленки на поверхности кремния электронно-зондовым методом // Измерительная техника. 2015. № 9. С. 13-16.
2. Филиппов М. Н. Оценка теплового воздействия электронного зонда в растровой электронной микроскопии и рентгеновском микроанализе // Известия АН. Сер. Физическая. 1993. Т. 57. № 8. С. 165-171.
3. Reimer L. Image formation in low-voltage scanning electron microscopy. SPIE Press, 1993. Т. 12.
4. Рау Э. И., Евстафьева Е. Н., Андрианов М. В. Механизмы зарядки диэлектриков при их облучении электронными пучками средних энергий //Физика твердого тела. 2008. Т. 50. №. 4. С. 599-607.
5. Шиллер З., Гайзик У., Панцер З. Электронно-лучевая технология. М.: Энергия, 1980.
6. Ефимов А.И., Белорукова Л.П., Василькова И.В., Чечев В.П. Свойства неорганических соединений. Справочник. Л.: Химия, 1983.
Review
For citations:
, , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2016;(11):68-70. (In Russ.)
Views:
107
Email this article 