Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Алгоритм восстановления профиля плоской оптической поверхности высокой точности
Abstract
Surface roughness of large optics is becoming highly critical to the performance of powerful lasers or telescopes. Measuring of surface topography and optical parameters of this optics with nanometer resolution is a challenging problem. Usually, the Fizeau interferometer is used to measure surface topography with absolute calibration methods. The authors have implemented the algorithm of the two-flat-test absolute calibration method. To determine accuracy numerically a number of simulations were perfomed.
About the Authors
Я. Гладышева
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Russian Federation
Russian Federation
И. Животовский
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Russian Federation
Russian Federation
Д. Денисов
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Russian Federation
Russian Federation
Н. Барышников
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Carruthers T. F., Reitze D. H. LIGO: Finally Poised to Catch Elusive Gravitational Waves? // Opt. Photonics News. 2015. V. 26. N. 3. P. 44-51.
2. Udry S., Lovis C., Bouchy F., Cameron A. C., Henning T., Mayor M. Exoplanet Science with the European Extremely Large Telescope. The Case for Visible and Near-IR Spectroscopy at High Resolution // arXiv preprint: 1412.1048, 2014.
3. Spaeth M. L., Manes K. R., Widmayer C. C., Williams W. H., Whitman P. K., Henesian M. A. National Ignition Facility wavefront requirements and optical architecture // Opt. Eng. 2004. V. 43. N. 12. P. 2854-2865.
4. Nosov P. A., Shirankov A. F., Grigoryants A. G., Tretyakov R. S. Investigation of the spatial structure of a high-power fiber laser beam // J. Phys. Conf. Ser. 2015. V. 584. N. 1. P. 012006.
5. Ширанков А. Ф., Носов П. А., Григорьянц А. Г., Третьяков Р. С., Самарин П. Е. Разработка оптических систем для лазерной обработки на основе теории лазерной оптики // Наукоемкие технологии в машиностроении. 2014. № 5. С. 37-48.
6. Bray M., Liard A., Chabassier G. Laser megajoule optics: I. New methods of optical specification // Proc. SPIE. 1999. V. 3739 P. 449-460
7. Abdulkadyrov M. A., Semenov A. P., Sharov Y. A., Baryshnikov N. V., Denisov D. G., Zhivotovskii I. V., & Karasik V. E. An unequal-arm Twyman-Green IR interferometer for monitoring the shape and quality of the surfaces of large optical items at the grinding stage // J. Opt. Technol. 2010. V. 77. N. 10. P. 621-627.
8. Chen J., Song D., Zhu R., Wang Q., Chen L., Chen D. Large-aperture high-accuracy phase-shifting digital flat interferometer // Opt. Eng. 1996. V. 35. N. 7. P. 1936-1942.
9. Schulz G., Schwider J. Precise measurement of planeness //Appl. Opt. 1967. V. 6. N. 6. P. 1077-1084.
10. Fritz B. S. Absolute calibration of an optical flat // Opt. Eng. 1984. V. 23. N. 4. P. 379-383.
11. Ai C., Wyant J. C. Absolute testing of flats decomposed to even and odd functions // Proc. SPIE. 1992. V. 1776 P. 73-83
12. Küchel M. F. A new approach to solve the three flat problem // Opt. Int. J. Light and Electron Optics. 2001. V. 112. N. 9. P. 381-391.
13. Vannoni M., Molesini G. Three-flat test with plates in horizontal posture // Appl. Opt. 2008. V. 47. N. 12. P. 2133-2145.
14. Morin F., Bouillet S. Absolute interferometric measurement of flatness: application of different methods to test a 600 mm diameter reference flat // Proc. SPIE. 2007. N. 6616. P. 66164G.
15. Gladysheva Y. V., Zhivotovsky I. V., Denisov D. G., Baryshnikov N. V., Karasik V. E., Rees P. The absolute calibration of high-precision optical flats across a wide range of spatial frequencies // J. Phys.: Conf. Ser. 2015. V. 584. N. 1. P. 012020.
16. Барышников Н. В., Гладышева Я. В., Денисов Д. Г., Животовский И. В. Методы контроля формы и качества поверхностей крупногабаритных высокоточных оптических элементов // Радиотехника. 2014. № 4. С. 48-51.
Review
For citations:
, , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2016;(2):28-32. (In Russ.)
Views:
101
Email this article 