Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Методы расширения диапазона измерения микрооптоэлектромеханического преобразователя угловых скоростей
Abstract
The methods for expanding the measurement range of microopto-electromechanical (MOEM) angular velocity transducer based on optical tunneling effect (OTE) are developed. Approximating function of dependence of the output pulse duration of MOEM transducer upon angular velocity is determined.
About the Authors
В. Бусурин
Московский авиационный институт (Национальный исследовательский университет)
Russian Federation
Russian Federation
М. Жеглов
Государственный научно-исследовательский институт приборостроения
Russian Federation
Russian Federation
В. Коробков
Московский авиационный институт (Национальный исследовательский университет)
Russian Federation
Russian Federation
А. Фам
Московский авиационный институт (Национальный исследовательский университет)
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Robert B. MEMS sensors: past, present and future // Sensor Review. 2007. V. 27 (1). P. 7-13.
2. Косцов Э. Г. Состояние и перспективы микро- и наноэлектромеханики // Автометрия. 2009. № 3. С. 3-52.
3. Мельников В. Е., Мельникова Е. Н., Черноморский А. И., Гончаренко Г. Г. Датчики инерциальной информации. М.: МАИ-ПРИНТ, 2011.
4. Распопов В. Я. Микромеханические приборы. М.: Машиностроение, 2007.
5. Бусурин В. И., Горшков Б. Г., Коробков В. В. Волоконно-оптические информационно-измерительные системы. М.: МАИ, 2012.
6. Busurin V. I., Naing H. L., Pham A. T. Investigation of microopto-eletromechanical angular velocity and acceleration transducers based on optical tunneling effect // Physics Procedia. 2015. V. 73. P. 198-204.
7. Бусурин В. И., Фам А. Т. Микрооптоэлектромеханический преобразователь угловых скоростей на основе оптического туннельного эффекта // Автометрия. 2016. Т. 52. № 2. С. 124-130.
8. Пат. 2566384 РФ. Микрооптоэлектромеханический двухосевой датчик угловой скорости и линейного ускорения / Бусурин В. И., Жеглов М. А., Коробков В. В., Фам А. Т. // Изобретения. Полезные модели. 2015. № 30.
9. Ким Д. П. Теория автоматического управления. Т. 1. Линейные системы. М.: ФИЗМАЛИТ, 2010.
10. Khalil H. K. Nonlinear systems, 3rd Edition. Prentice Hall, Upper Saddle River, 2002.
11. Min H. B. Handbook of sensors and actuators - 8: micro mechanical transducers pressure sensors, accelerometers and gyroscopes. Elsevier Press, 2000.
12. Ramyar R., Momeni H. System dynamics and adaptive control for MEMS gyroscope sensor // International Journal of Advanced Robotic Systems. 2010. V. 7 (4). P. 77-82.
Review
For citations:
, , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2017;(6):28-32. (In Russ.)
Views:
104
Email this article 