|Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Создание калибровочных образцов меры с элементами рельефа менее 100 нм
Abstract
The results of development experimental sample of mesure with relief elements size less than 100 nm for calibration of optical, near-field and electron microscopy are presented.
About the Authors
Ю. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
В. Лясковский
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
Ю. Ефименков
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
А. Самойленко
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Булыгин Ф. В., Золотаревский С. Ю., Кононогов С. А, Илюшин Я. А., Левин Г. Г., Лясковский В. Л. Анализ методов сверхразрешения в оптической интерференционной микроскопии // Метрология. 2013. № 8. С. 22-30.
2. Илюшин Я. А., Ломакин А. Г., Золотаревский С. Ю., Левин Г. Г., Кононогов С. А. Численное моделирование процедуры восстановления рельефа оптической поверхности с учетом рассеяния излучения на наноструктурах // Метрология. 2010. № 2. С. 3-12.
3. Илюшин Я. А., Левин Г. Г., Золотаревский С. Ю., Кононогов С. А., Лысенко В. Г. Моделирование процессов рассеяния оптического излучения нанообъектами с конечными диэлектрической проницаемостью и проводимостью // Метрология. 2010. № 1. С. 10-22.
Review
For citations:
, , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2015;(11):24-26. (In Russ.)
Views:
78
Email this article 