Для цитирования:
Золотаревский Ю.М., Лясковский В.Л., Ефименков Ю.Р., Самойленко А.А. Создание калибровочных образцов меры с элементами рельефа менее 100 нм. Измерительная техника. 2015;(11):24-26.
JATS XML
Золотаревский Ю.М., Лясковский В.Л., Ефименков Ю.Р., Самойленко А.А. Создание калибровочных образцов меры с элементами рельефа менее 100 нм. Измерительная техника. 2015;(11):24-26.