Открытый доступ
Только для подписчиков
Создание калибровочных образцов меры с элементами рельефа менее 100 нм
Аннотация
Представлены результаты разработки экспериментального образца меры с элементами рельефа менее 100 нм для калибровки оптических, ближнепольных и электронных микроскопов на основе металлизированого электронного резиста (покрытия).
Об авторах
Ю. М. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
В. Л. Лясковский
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
Ю. Р. Ефименков
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
А. А. Самойленко
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
Список литературы
1. Булыгин Ф. В., Золотаревский С. Ю., Кононогов С. А, Илюшин Я. А., Левин Г. Г., Лясковский В. Л. Анализ методов сверхразрешения в оптической интерференционной микроскопии // Метрология. 2013. № 8. С. 22-30.
2. Илюшин Я. А., Ломакин А. Г., Золотаревский С. Ю., Левин Г. Г., Кононогов С. А. Численное моделирование процедуры восстановления рельефа оптической поверхности с учетом рассеяния излучения на наноструктурах // Метрология. 2010. № 2. С. 3-12.
3. Илюшин Я. А., Левин Г. Г., Золотаревский С. Ю., Кононогов С. А., Лысенко В. Г. Моделирование процессов рассеяния оптического излучения нанообъектами с конечными диэлектрической проницаемостью и проводимостью // Метрология. 2010. № 1. С. 10-22.
Рецензия
Для цитирования:
Золотаревский Ю.М., Лясковский В.Л., Ефименков Ю.Р., Самойленко А.А. Создание калибровочных образцов меры с элементами рельефа менее 100 нм. Измерительная техника. 2015;(11):24-26.
Просмотров: 11
Послать статью по эл. почте 