Стандартный образец для калибровки просвечивающих электронных микроскопов
Аннотация
Разработан и утвержден тип стандартного образца параметров шаговой структуры в тонком слое монокристаллического кремния ГСО 10030–2011, предназначенного для калибровки просвечивающих электронных микроскопов в диапазоне увеличений 1000 – 1500000´. Аттестуемые параметры– значения шага шаговой структуры и расстояние между плоскостями (111) монокристаллического кремния в материале образца– независимо прослеживаются к единице длины – метру.
Об авторах
Д. С. Бодунов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
В. П. Гавриленко
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
А. В. Заблоцкий
Московский физико-технический институт, Долгопрудный
Россия
Россия
А. А. Кузин
Московский физико-технический институт, Долгопрудный
Россия
Россия
А. Ю. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
В. Б. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
А. В. Раков
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
М. Н. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н.С.Курнакова РАН, Москва
Россия
Россия
Список литературы
1. Утевский Л.М. Дифракционная электронная микроскопия в металловедении. М.:Металлургия, 1973.С.31.
2. Williams D., Carter C. Transmission electron microscopy. A textbook for materials science.N.Y.:Springer Science+Business Media, 2009.P.164.
3. НовиковЮ.А. идр.Линейнаямерамикрометровогоинанометровогодиапазоновдлярастровойэлектроннойиатомно-силовоймикроскопии// ТрудыИОФАН. 2006. Т. 62. С. 36–76.
4. NIST 2008 SRM 2000: calibration standard for high-resolution x-ray diffraction (Gaithersburg, MD: National Institute of Standards and Technology, USDepartment of Commerce) P. 1–11.
5. ГОСТ Р 8.631–2007. ГСИ. Микроскопы электронные измерительные. Методика поверки.
6. ГОСТ Р 8.629–2007. ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки.
Рецензия
Для цитирования:
Бодунов Д.С., Гавриленко В.П., Заблоцкий А.В., Кузин А.А., Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б., Раков А.В., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Стандартный образец для калибровки просвечивающих электронных микроскопов. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2012;(10):16- 18.
Просмотров:
117
Послать статью по эл. почте 