|Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Измерения толщины оксидной пленки на поверхности кремния электронно-зондовым методом
Abstract
The electron probe X-ray microanalysis method of measuring the thickness of oxide layer on silicon surface is proposed. The measurement range, lateral resolution and measurement errors of this method are estimated.
About the Authors
В. Гавриленко
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Russian Federation
Russian Federation
А. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Russian Federation
Russian Federation
В. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Russian Federation
Russian Federation
М. Степович
Калужский государственный университет им. К.Э. Циолковского»
Russian Federation
Russian Federation
П. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Russian Federation
Russian Federation
М. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н.С.Курнакова РАН
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Швец В. А., Спесивцев Е. В., Рыхлицкий С. В., Михайлов Н. Н. Эллипсометрия - прецизионный метод контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением // Российские нанотехнологии. 2009. Т. 4. № 3-4. С. 72-84.
2. Гавриленко В. П., Кузин А. А., Кузин А. Ю., Кузьмин А. А., Митюхляев В. Б., Раков А. В., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Измерение толщины окисла на рельефной шаговой структуре на подложке из монокристаллического кремния // Микроэлектроника. 1013. Т. 42. № 2. С. 131-133.
3. Philibert J., Tixier R. Electron probe microanalysis of transmission electron microscope specimens: in Physical Aspects of Electron Microscopy and Microbeam Analysis // B. Siegel and D. R. Beaman, eds. Wiley. New York. 1975. P. 333-354.
4. Блохин М. А., Швейцер И. Г. Рентгеноспектральный справочник. М.: Наука, 1982.
5. Bethe H. Zur Theorie des Durchgangs schneller Korpuskularstrahlen durch Materie // Annalen der Physik. 1930. Bd. 397. №. 3. С. 325-400.
6. Kanaya K., Okayama S. Penetration and energy-loss theory of electrons in solid targets // J. Phys. D.: Appl. Phys. 1972. Vol. 5. P.43-58.
7. Echlin P., Fiori C. E., Goldstein J., Joy D. C., Newbury D. E. Advanced scanning electron microscopy and X-ray microanalysis. Springer Science & Business Media, 2013.
8. Рау Э. И., Дицман С. А., Зайцев С. В., Лермонтов Н. В., Лукьянов А. Е., Купренко С. Ю. Анализ формул для расчета основных характеристик отраженных электронов и сравнение с экспериментальными результатами // Известия РАН. Серия физическая. 2013. Т. 77. № 8. С. 1050-1058.
9. Reuter W. The ionization function and its application to the electron probe analysis of thin films //Proceedings 6th International Congress on X-ray Optics and Microanalysis. Tokyo. 1972. P. 121-130.
10. Reimer L. Scanning electron microscopy. Physics of image formation and microanalysis. 2nd Edition. Berlin, N.Y., Heidelberg: Springer, 1998.
Review
For citations:
, , , , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2015;(9):13-16. (In Russ.)
Views:
114
Email this article 