|сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Измерения толщины оксидной пленки на поверхности кремния электронно-зондовым методом
Аннотация
Предложен электронно-зондовый способ измерений толщины оксидной пленки на поверхности кремния. Дана оценка диапазона измерений, латерального разрешения способа и погрешности измерений.
Об авторах
В. П. Гавриленко
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
А. Ю. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
В. Б. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
М. А. Степович
Калужский государственный университет им. К.Э. Циолковского»
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
М. Н. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н.С.Курнакова РАН
Россия
Россия
Список литературы
1. Швец В. А., Спесивцев Е. В., Рыхлицкий С. В., Михайлов Н. Н. Эллипсометрия - прецизионный метод контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением // Российские нанотехнологии. 2009. Т. 4. № 3-4. С. 72-84.
2. Гавриленко В. П., Кузин А. А., Кузин А. Ю., Кузьмин А. А., Митюхляев В. Б., Раков А. В., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Измерение толщины окисла на рельефной шаговой структуре на подложке из монокристаллического кремния // Микроэлектроника. 1013. Т. 42. № 2. С. 131-133.
3. Philibert J., Tixier R. Electron probe microanalysis of transmission electron microscope specimens: in Physical Aspects of Electron Microscopy and Microbeam Analysis // B. Siegel and D. R. Beaman, eds. Wiley. New York. 1975. P. 333-354.
4. Блохин М. А., Швейцер И. Г. Рентгеноспектральный справочник. М.: Наука, 1982.
5. Bethe H. Zur Theorie des Durchgangs schneller Korpuskularstrahlen durch Materie // Annalen der Physik. 1930. Bd. 397. №. 3. С. 325-400.
6. Kanaya K., Okayama S. Penetration and energy-loss theory of electrons in solid targets // J. Phys. D.: Appl. Phys. 1972. Vol. 5. P.43-58.
7. Echlin P., Fiori C. E., Goldstein J., Joy D. C., Newbury D. E. Advanced scanning electron microscopy and X-ray microanalysis. Springer Science & Business Media, 2013.
8. Рау Э. И., Дицман С. А., Зайцев С. В., Лермонтов Н. В., Лукьянов А. Е., Купренко С. Ю. Анализ формул для расчета основных характеристик отраженных электронов и сравнение с экспериментальными результатами // Известия РАН. Серия физическая. 2013. Т. 77. № 8. С. 1050-1058.
9. Reuter W. The ionization function and its application to the electron probe analysis of thin films //Proceedings 6th International Congress on X-ray Optics and Microanalysis. Tokyo. 1972. P. 121-130.
10. Reimer L. Scanning electron microscopy. Physics of image formation and microanalysis. 2nd Edition. Berlin, N.Y., Heidelberg: Springer, 1998.
Рецензия
Для цитирования:
Гавриленко В.П., Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б., Степович М.А., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Измерения толщины оксидной пленки на поверхности кремния электронно-зондовым методом. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2015;(9):13-16.
Просмотров:
105
Послать статью по эл. почте 