Экспериментальное исследование метрологических характеристик автоматизированной интерферометрической системы измерения формы поверхности диффузно отражающих объектов

The automated interferometric system, which today is relevant in addressing issues of controlling the shape of diffusely reflecting objects in various fields of science and technology is presented. Experimental research of the metrological characteristics of the system: the amplitude of the information signal, measurement range and measurement error was performed. The results of change of the output signal amplitude at modulation of the optical path difference, which allows you to visualize the effect of introduced noise on the measurement error, when the angle of incidence increases, increase the increasing of duration of the interference signal leads to increased measurement errors were obtained. The dependence of the measurement range of the frequency scanning of the reference mirror is received. Normal light measurement error does not exceed 0,67 µm is revealed.

интерферометр, частично-когерентный источник, длина когерентности, диффузно отражающий объект, декорреляция спекл-поля, контраст интерференционного поля, дифракционная решётка, interferometer, the partially coherent source, the coherence length, diffusely reflecting object, decorrelate speckle field, the contrast of the interference field, diffraction grating

1. Pat. 6195168 USA. Infrared scanning interferometry apparatus and method / De Lega, 2001.

2. Hausler G., Lindner M.W. Coherence radar and spectral radar - new tools for dermatological diagnosis // F. Biomed. Opt. 1998. V. 3. No. 1. P. 21-31.

3. Gu F., Hung Y., Chen F. Iteration algorithm for computer-aided speckle interferometry // Appl. Opt. 1994. V. 33. No. 23. P. 5308-5317.

4. Gurov I. P., Gang L. Automatic inspection of non-smoth surface displacements by interferometer with low-coherent illumination // Proc. SPIE. 1996. V. 2899. P. 230-239.

5. М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики. М.: Наука, 1970.

6. В. А. Афанасьев. Оптические измерения. М.: Недра, 1968.

7. Д. Малакара. Оптический производственный контроль / Пер. с англ. под ред. А.Н. Соснова. М.: Машиностроение, 1985.

8. М. Франсон. Оптика спеклов / Пер. с франц. под ред. проф. Ю. И. Островского. М.: Мир, 1980.

9. Majorov E. E., Prokopenko V. T. A limited-coherence interferometer system for examination of biological objects // Biomed. Eng. 2012. V. 46. No. 3. P. 109-111.

10. Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т. Исследование влияния спекл-структуры на формирование интерференционного сигнала и погрешность измерений // Научное приборостроение. 2013. Т. 23. № 2. С. 38-46.

11. Майоров Е. Е. Метод устранения влияния декорреляции спекл-полей на точность измерений и динамический диапазон интерференционного сигнала // Научное обозрение. 2013. № 9. С. 329-332.

12. Майоров Е. Е., Машек А. Ч., Удахина С. В., Цыганкова Г. А., Хайдаров Г. Г., Черняк Т. А. Алгоритмы обработки информационного сигнала компьютерной интерференционной системы контроля негладких поверхностей // Научное приборостроение. 2015. Т. 25. № 4. С. 61-66.

13. Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т., Машек А. Ч., Удахина С. В., Цыганкова Г. А., Хайдаров А. Г., Черняк Т. А. Оптико-электронный прибор для контроля геометрических параметров диффузно отражающих объектов // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. 2016. Т. 59. № 5. С. 388-394.