Экспериментальное исследование метрологических характеристик автоматизированной интерферометрической системы измерения формы поверхности диффузно отражающих объектов

Экспериментально исследованы метрологические характеристики автоматизированной интерферометрической системы измерения формы поверхности диффузно отражающих объектов. Изучены изменения амплитуды выходного сигнала при модуляции оптической разности хода и выполнена визуализация влияния вносимых помех на погрешность измерений. Установлено, что при увеличении угла падения оптического излучения увеличиваются длительность интерференционного сигнала и, соответственно, погрешность измерений АИС. Получена зависимость диапазона измерений от частоты сканирования опорного зеркала. Погрешность измерений АИС при нормальном освещении не превышает 0,67 мкм.

интерферометр, частично-когерентный источник, длина когерентности, диффузно отражающий объект, декорреляция спекл-поля, контраст интерференционного поля, дифракционная решётка, interferometer, the partially coherent source, the coherence length, diffusely reflecting object, decorrelate speckle field, the contrast of the interference field, diffraction grating

1. Pat. 6195168 USA. Infrared scanning interferometry apparatus and method / De Lega, 2001.

2. Hausler G., Lindner M.W. Coherence radar and spectral radar - new tools for dermatological diagnosis // F. Biomed. Opt. 1998. V. 3. No. 1. P. 21-31.

3. Gu F., Hung Y., Chen F. Iteration algorithm for computer-aided speckle interferometry // Appl. Opt. 1994. V. 33. No. 23. P. 5308-5317.

4. Gurov I. P., Gang L. Automatic inspection of non-smoth surface displacements by interferometer with low-coherent illumination // Proc. SPIE. 1996. V. 2899. P. 230-239.

5. М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики. М.: Наука, 1970.

6. В. А. Афанасьев. Оптические измерения. М.: Недра, 1968.

7. Д. Малакара. Оптический производственный контроль / Пер. с англ. под ред. А.Н. Соснова. М.: Машиностроение, 1985.

8. М. Франсон. Оптика спеклов / Пер. с франц. под ред. проф. Ю. И. Островского. М.: Мир, 1980.

9. Majorov E. E., Prokopenko V. T. A limited-coherence interferometer system for examination of biological objects // Biomed. Eng. 2012. V. 46. No. 3. P. 109-111.

10. Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т. Исследование влияния спекл-структуры на формирование интерференционного сигнала и погрешность измерений // Научное приборостроение. 2013. Т. 23. № 2. С. 38-46.

11. Майоров Е. Е. Метод устранения влияния декорреляции спекл-полей на точность измерений и динамический диапазон интерференционного сигнала // Научное обозрение. 2013. № 9. С. 329-332.

12. Майоров Е. Е., Машек А. Ч., Удахина С. В., Цыганкова Г. А., Хайдаров Г. Г., Черняк Т. А. Алгоритмы обработки информационного сигнала компьютерной интерференционной системы контроля негладких поверхностей // Научное приборостроение. 2015. Т. 25. № 4. С. 61-66.

13. Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т., Машек А. Ч., Удахина С. В., Цыганкова Г. А., Хайдаров А. Г., Черняк Т. А. Оптико-электронный прибор для контроля геометрических параметров диффузно отражающих объектов // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. 2016. Т. 59. № 5. С. 388-394.