izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-84Research ArticleРАДИОТЕХНИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯRADIO MEASUREMENTSМетодическая погрешность измерений показателя степени частотной зависимости спектра низкочастотного шумаСергеевВ. А.sva@ulstu.ruРезчиковС. Е.licker-noise@mail.ruУльяновский государственный технический университетRussian Federation2015070220230105559Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/84

Рассмотрены особенности измерений параметров низкочастотного шума со спектром вида 1/ f изделий электронной техники. Получены и проанализированы выражения для методической погрешности определения показателя степени по результатам однократных измерений спектральной плотности мощности шума методом непосредственной оценки на двух частотах с учетом тепловых и дробовых шумов контролируемого изделия. Даны рекомендации по минимизации суммарной погрешности определения

The features of measurement of low-frequency noise parameters with 1/ fg form spectrum of electron technology products are considered. The expressions for methodical error of deformation of the exponent g of noise frequency dependence by the results of single measurements of spectral density of the noise power by method of direct assessment at two frequencies with taking into account the level of thermal and shot noise of the product under control have been received and analysed. The recommendations on minimizing the total error of exponent determination are presented.

низкочастотныйфликер-дробовый и тепловой шумыспектральная плотность мощности шумапоказатель степени частотной зависимостиlow frequencyshot and thermal noisesspectral density of noise powerexponent of frequency dependenceReferencesКоган Ш. М. Низкочастотный токовый шум со спектром типа 1/f в твердых телах // УФН. 1985. Вып. 2. С. 285-328.Коган Ш. М. Низкочастотный токовый шум со спектром типа 1/f в твердых телах // УФН. 1985. Вып. 2. С. 285-328.Беляков А. В., Моряшин А. В., Перов М. Ю., Якимов А. В. Исследование 1/f шума в наноразмерных полупроводниковых структурах // Вестник ННГУ им. Н. И. Лобачевского. Радиофизика. 2004. Вып. 2. С. 143-153.Беляков А. В., Моряшин А. В., Перов М. Ю., Якимов А. В. Исследование 1/f шума в наноразмерных полупроводниковых структурах // Вестник ННГУ им. Н. И. Лобачевского. Радиофизика. 2004. Вып. 2. С. 143-153.Жигальский Г. П. Неразрушающий контроль качества и предсказание надежности интегральных микросхем по электрическим шумам и параметрам надежности // Радиотехника и электроника. 2005. № 5. С. 1-35.Жигальский Г. П. Неразрушающий контроль качества и предсказание надежности интегральных микросхем по электрическим шумам и параметрам надежности // Радиотехника и электроника. 2005. № 5. С. 1-35.Горлов М. И., Смирнов Д. Ю., Ануфриев Д. Л. Классификация надежности интегральных схем с использованием показателя формы спектра γ // Известия высших учебных заведений. Электроника. 2006. № 5. С. 78-82.Горлов М. И., Смирнов Д. Ю., Ануфриев Д. Л. Классификация надежности интегральных схем с использованием показателя формы спектра γ // Известия высших учебных заведений. Электроника. 2006. № 5. С. 78-82.Saulys B., Matukas J., Palenskis V. Light Emitting Diode Degradation and Low-Frequency Noise Characteristics // Acta Physica Polonica A. 2011. № 4. P. 514-520.Saulys B., Matukas J., Palenskis V. Light Emitting Diode Degradation and Low-Frequency Noise Characteristics // Acta Physica Polonica A. 2011. № 4. P. 514-520.Sergeev V. A., Frolov I. V., Shirokov A. A., Shcherbatyuk A. N. Probability Characteristics Of Electrical Noise in Heterojunction-Based Light Emitting Diodes // Semiconductors. 2011. № 13. P. 50-55.Sergeev V. A., Frolov I. V., Shirokov A. A., Shcherbatyuk A. N. Probability Characteristics Of Electrical Noise in Heterojunction-Based Light Emitting Diodes // Semiconductors. 2011. № 13. P. 50-55.Горлов М. И. Смирнов Д. Ю., Ануфриев Д. Л. Измерение шумовых параметров полупроводниковых изделий // Измерительная техника. 2006. № 12. С. 46-49.Горлов М. И. Смирнов Д. Ю., Ануфриев Д. Л. Измерение шумовых параметров полупроводниковых изделий // Измерительная техника. 2006. № 12. С. 46-49.Сергеев В. А., Дулов О. А. Методические погрешности измерения параметров низкочастотного шума со спектром вида 1/f γ // Измерительная техника. 2008. № 10. С. 51-53.Сергеев В. А., Дулов О. А. Методические погрешности измерения параметров низкочастотного шума со спектром вида 1/f γ // Измерительная техника. 2008. № 10. С. 51-53.Мирский Г. Я. Электронные измерения. М.: Радио и связь, 1986.Мирский Г. Я. Электронные измерения. М.: Радио и связь, 1986.Бендат Д. С., Пирсол А. Прикладной анализ случайных данных / Пер. с англ. В. Е. Привольского, А. И. Кочубинского, под ред. И. Н. Коваленко. М.: Мир, 1989.Бендат Д. С., Пирсол А. Прикладной анализ случайных данных / Пер. с англ. В. Е. Привольского, А. И. Кочубинского, под ред. И. Н. Коваленко. М.: Мир, 1989.Mack C. A. Systematic errors in the measurement of power spectral density // Proc. SPIE 8681, Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXVII, 2013. P. 033016-033016-10.Mack C. A. Systematic errors in the measurement of power spectral density // Proc. SPIE 8681, Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXVII, 2013. P. 033016-033016-10.Reschikoff S. On reliability of optimum analysis bandwidth formula for flicker noise // 1st Int. School and Conf. Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures. St. Petersburg (Russia), 2014. P. 105-106.Reschikoff S. On reliability of optimum analysis bandwidth formula for flicker noise // 1st Int. School and Conf. Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures. St. Petersburg (Russia), 2014. P. 105-106.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.