izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-808Research ArticleНАНОМЕТРОЛОГИЯЛокальные физико-механические свойства материалов для проведения калибровки наноиндентометровГоловинЮ. И.golovin@tsu.tmb.ruТюринА. И.noemail@neicon.ruАсланянЭ. Г.aslanyan@vniiftri.ruПирожковаТ. С.noemail@neicon.ruВоробьевМ. О.noemail@neicon.ruНаучно-образовательный центр «Нанотехнологии и наноматериалы», Тамбовский государственный университет им. Г. Р. ДержавинаRussian FederationВсероссийский научно-исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измеренийRussian Federation20160702202309710Copyright © Головин Ю.И., Тюрин А.И., Асланян Э.Г., Пирожкова Т.С., Воробьев М.О., 20232023Головин Ю.И., Тюрин А.И., Асланян Э.Г., Пирожкова Т.С., Воробьев М.О.Головин Ю.И., Тюрин А.И., Асланян Э.Г., Пирожкова Т.С., Воробьев М.О.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.izmt.ru/jour/article/view/808

Проведены исследования вариаций твёрдости репрезентативных материалов различных классов в широких диапазонах нагрузок и глубин отпечатков. Показана возможность и установлены границы диапазонов использования мер твёрдости из этих материалов для калибровки наноиндентометров.

The study of variations of hardness a number of representatives materials of various classes have been carried out in a wide range of loads and imprint depths. The usability of these substances and the range limits for the employing of testing blocks from these materials for the calibration of nanoindentation instruments are shown.

наноиндентированиенаноиндентометрыкалибровочные материалыкалибровкананотвёрдостьмодуль Юнгаnanoindentationnanoindentation instrumentcalibration materialscalibrationnanohardnessYoung modulusReferencesBhushan B. Springer Handbook of Nanotechnology. Berlin: Springer. 2010.Bhushan B. Springer Handbook of Nanotechnology. Berlin: Springer. 2010.Fischer-Cripps A. C. Nanoindentation. N.Y.: Springer. 2011.Fischer-Cripps A. C. Nanoindentation. N.Y.: Springer. 2011.Головин Ю. И. Наноиндентирование и его возможности. М.: Машиностроение. 2009.Головин Ю. И. Наноиндентирование и его возможности. М.: Машиностроение. 2009.Гращенко А. С., Кукушкин С. А., Осипов А. В. Наноиндентирование и деформационные свойства наномасштабных пленок карбида кремния на кремнии // Письма в ЖТФ. 2014. Т. 40. Вып. 24. C. 53-59.Гращенко А. С., Кукушкин С. А., Осипов А. В. Наноиндентирование и деформационные свойства наномасштабных пленок карбида кремния на кремнии // Письма в ЖТФ. 2014. Т. 40. Вып. 24. C. 53-59.Bhushan B. Biophysics of Human Hair: Structural, Nanomechanical, and Nanotribological Studies. Berlin: Springer-Verlag. 2010.Bhushan B. Biophysics of Human Hair: Structural, Nanomechanical, and Nanotribological Studies. Berlin: Springer-Verlag. 2010.Nix W. D., Gao H. Indentation size effects in crystalline materials: a law for strain gradient plasticity // J. Mechanics and Physics of Solids. 1998. V. 46. N. 3. P. 411-425.Nix W. D., Gao H. Indentation size effects in crystalline materials: a law for strain gradient plasticity // J. Mechanics and Physics of Solids. 1998. V. 46. N. 3. P. 411-425.Головин Ю. И., Васюков В. М., Коренков В. В., Столяров Р. А., Шуклинов А. В., Поляков Л. Е. Размерные эффекты в твердости ГЦК-металлов в микро- и наноразмерной области // Журнал технической физики. 2011. Т. 81. Вып. 5. С. 55-58.Головин Ю. И., Васюков В. М., Коренков В. В., Столяров Р. А., Шуклинов А. В., Поляков Л. Е. Размерные эффекты в твердости ГЦК-металлов в микро- и наноразмерной области // Журнал технической физики. 2011. Т. 81. Вып. 5. С. 55-58.Головин Ю. И. Наноиндентирование и механические свойства твёрдых тел в субмикрообъемах, тонких приповерхностных слоях и плёнках (обзор) // Физика твёрдого тела. 2008. Т. 50. № 12. С. 2113-2141.Головин Ю. И. Наноиндентирование и механические свойства твёрдых тел в субмикрообъемах, тонких приповерхностных слоях и плёнках (обзор) // Физика твёрдого тела. 2008. Т. 50. № 12. С. 2113-2141.Головин Ю. И., Тюрин А. И., Хлебников В. В. Влияние режимов динамическогонаноиндентирования на коэффициент скоростной чувствительности твёрдости тел различной структуры // Журнал технической физики. 2005. Т. 75. Вып. 4. С. 91-95.Головин Ю. И., Тюрин А. И., Хлебников В. В. Влияние режимов динамическогонаноиндентирования на коэффициент скоростной чувствительности твёрдости тел различной структуры // Журнал технической физики. 2005. Т. 75. Вып. 4. С. 91-95.Головин Ю.И., Иволгин В.И., Тюрин А.И., Потапов С. В., Бенгус B. З., Табачникова Е. Д. О соотношении монотонной и скачкообразной деформации объемного аморфного сплава ZR46,8TI8CU7,5NI10BE27.5 при наноиндентировании // Кристаллография. 2005. Т. 50. №2. С. 326-331.Головин Ю.И., Иволгин В.И., Тюрин А.И., Потапов С. В., Бенгус B. З., Табачникова Е. Д. О соотношении монотонной и скачкообразной деформации объемного аморфного сплава ZR46,8TI8CU7,5NI10BE27.5 при наноиндентировании // Кристаллография. 2005. Т. 50. №2. С. 326-331.Oliver W. C., Pharr G. M. An Improved Technique for Determining Hardness and Elastic Modulus Using Load and Displacement Sensing Indentation Experiments // J. Mater. Res. 1992. V. 7. N. 6. P. 1564-1583.Oliver W. C., Pharr G. M. An Improved Technique for Determining Hardness and Elastic Modulus Using Load and Displacement Sensing Indentation Experiments // J. Mater. Res. 1992. V. 7. N. 6. P. 1564-1583.Oliver W. C., Pharr G. M. Measurement of hardness and elastic modulus by instrumented indentation: Advances in understanding and refinements to methodology // J. Mater. Res. 2004. V. 19. N. 1. Р. 3-20.Oliver W. C., Pharr G. M. Measurement of hardness and elastic modulus by instrumented indentation: Advances in understanding and refinements to methodology // J. Mater. Res. 2004. V. 19. N. 1. Р. 3-20.Herrmann K., Jennett N. M., Kuypers S., McEntegaart I., Ingelbrecht C., Hangen U., Chudoba T., Pohlenz F., Menelao F. Investigation of the properties of candidate reference materials suited for the calibration of nanoindentation instruments // Zeitschrift für Metallkunde. 2003. V. 94. N. 7. P. 802-806.Herrmann K., Jennett N. M., Kuypers S., McEntegaart I., Ingelbrecht C., Hangen U., Chudoba T., Pohlenz F., Menelao F. Investigation of the properties of candidate reference materials suited for the calibration of nanoindentation instruments // Zeitschrift für Metallkunde. 2003. V. 94. N. 7. P. 802-806.ISO 14577. Metallic materials - Instrumented indentation test for hardness and materials parameters. P. 1-4.ISO 14577. Metallic materials - Instrumented indentation test for hardness and materials parameters. P. 1-4.ГОСТ Р 8.748-2011. Металлы и сплавы. Измерение твёрдости и других характеристик материалов при инструментальном индентировании. Ч. 1. Методиспытаний.ГОСТ Р 8.748-2011. Металлы и сплавы. Измерение твёрдости и других характеристик материалов при инструментальном индентировании. Ч. 1. Методиспытаний.Асланян А. Э., Асланян Э. Г., Гаврилкин С. М., Щипунов А. Н. Исследование неоднородности мер твёрдости для передачи шкал Мартенса при наноиндентировании // Измерительная техника. 2015. № 1. С. 32-34.Асланян А. Э., Асланян Э. Г., Гаврилкин С. М., Щипунов А. Н. Исследование неоднородности мер твёрдости для передачи шкал Мартенса при наноиндентировании // Измерительная техника. 2015. № 1. С. 32-34.Асланян Э. Г, Дойников А. С. О выражении неопределённости результатов измерений твёрдости // Законодательная и прикладная метрология. 2002. № 4. C. 38-42.Асланян Э. Г, Дойников А. С. О выражении неопределённости результатов измерений твёрдости // Законодательная и прикладная метрология. 2002. № 4. C. 38-42.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.