Представлено устройство для механических испытаний элементов микро- и наносистем на основе электродинамического актюатора, контролируемым образом развивающего усилия от 10-3 до 1 Н. Минимально регистрируемое изменение геометрии образца под нагрузкой составляет 0,3 мкм. Актюатор можно применять для растяжения, изгиба, сжатия образцов и их испытаний на усталость. С помощью актюатора можно определять механические характеристики тонких плёнок, проволок и микробалок длиной от единиц микрометров до нескольких миллиметров. Доступность актюатора и его нулевая жёсткость упрощают процедуру измерений.
The paper presents testing system based on usage of electro dynamic actuator (Lorentz). The actuator capable of controllable load over a range 10-3 - 1 N. Specimen geometry change with an accuracy of 0,3 micrometers is achieved. The actuator is able to apply tension, bending, squeezing loads and periodic load for fatigue tests. The method could be applied for material characterization applications, such as microtensile testing of micrometer dimensioned films, wires, bending of millimeter-sized beams. The novel feature of our machine is that actuator is easily available and has zero stiffness
The authors declare that there are no conflicts of interest present.