izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-577Research ArticleОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯOPTICOPHYSICAL MEASUREMENTSВлияние фокусировки на латеральное разрешение интерференционного микроскопаЛевинГ. Г.Levin@vniiofi.ruМоисеевН. Н.noemail@neicon.ruИлюшинЯ. А.noemail@neicon.ruМинаевВ. Л.noemail@neicon.ruВсероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измеренийRussian Federation201407022023014548Copyright © Левин Г.Г., Моисеев Н.Н., Илюшин Я.А., Минаев В.Л., 20232023Левин Г.Г., Моисеев Н.Н., Илюшин Я.А., Минаев В.Л.Левин Г.Г., Моисеев Н.Н., Илюшин Я.А., Минаев В.Л.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.izmt.ru/jour/article/view/577

Проанализирована зависимость латерального разрешения интерференционного микроскопа от расстояния между фазовой ступенькой и плоскостью фокуса объектива предметного канала микроскопа. Проведено сравнение результатов измерений на нескольких длинах волн, полученных методом численного моделирования в широком диапазоне высот фазовой ступеньки и путем обработки реальных фазовых изображений.

The studies were carried out at several wavelengths by numerical simulations in the wide range of the phase step heights, as well as by processing the real phase images obtained.

интерференционный микроскоплатеральное разрешениефазовая ступенькаметод конечных разностей во времениinterference microscopelateral resolutionphase stepfinite difference in time domain method (FDTD)ReferencesЛевин Г. Г. и др. О латеральном разрешении интерференционного микроскопа // Измерительная техника. 2013. № 5. C. 16-19; Levin G. G e. a. The lateral resolution of an interference microscope // Measurement Techniques. 2013. V. 56. N. 5. P. 486-491.Левин Г. Г. и др. О латеральном разрешении интерференционного микроскопа // Измерительная техника. 2013. № 5. C. 16-19; Levin G. G e. a. The lateral resolution of an interference microscope // Measurement Techniques. 2013. V. 56. N. 5. P. 486-491.Totzeck M., Tiziani H. J. Interference microscopy of sub-lambda structures: A rigorous computation method and measurements. // Opt. Commun. 1997. V. 136. P. 61-74.Totzeck M., Tiziani H. J. Interference microscopy of sub-lambda structures: A rigorous computation method and measurements. // Opt. Commun. 1997. V. 136. P. 61-74.Yee K. Numerical solution of initial boundary value problems involving Maxwell’s equations in isotropic media // IEEE Trans. Anten. Propagat. 1966. V. 14. P. 302-307.Yee K. Numerical solution of initial boundary value problems involving Maxwell’s equations in isotropic media // IEEE Trans. Anten. Propagat. 1966. V. 14. P. 302-307.Taflove A., Brodwin M. E. Numerical solution of steady-state electromagnetic scattering problems using the time-dependent Maxwell's equations. // IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 1975. V. 23. P. 623-630.Taflove A., Brodwin M. E. Numerical solution of steady-state electromagnetic scattering problems using the time-dependent Maxwell's equations. // IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 1975. V. 23. P. 623-630.В. П. Тычинский. Сверхразрешение и сингулярности в фазовых изображениях // УФН. 2008. Т. 178. С. 1205-1214.В. П. Тычинский. Сверхразрешение и сингулярности в фазовых изображениях // УФН. 2008. Т. 178. С. 1205-1214.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.