izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-543Research ArticleМЕХАНИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯMECHANICAL MEASUREMENTSМоделирование и оценка параметровморфологии поверхностей тонких пленок нанои микроэлектромеханических системВасильевВ. А.opto@bk.ruЧерновП. С.noemail@neicon.ruПензенский государственный университет, ПензаRussian Federation2012070220230121316Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/543

Рассмотрены тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы датчиков давления, экспериментальные и теоретические методы изучения и результаты оценки параметров морфологии поверхностей пленок. Разработаны модель и алгоритм роста тонких пленок, учитывающие диффузию частиц.

The thin film nano-and microelectromechanical systems of pressure sensors, experimental and theoretical methods of study and estimation results of films surfaces morphology are considered. The model and algorithm of thin filmsgrowth with taking into account the particlesdiffusion is developed.

нано- и микроэлектромеханические системыдатчикитонкие пленкиморфология поверхностиnano-and microelectromechanical systemssensorsthin filmssurface morphologyReferencesБелозубов Е.М., Васильев В.А., Громков Н.В.Тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы – основа современных и перспективных датчиков давления для ракетной и авиационной техники // Измерительная техника. 2009.№ 7. С.35–38;Белозубов Е.М., Васильев В.А., Громков Н.В.Тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы – основа современных и перспективных датчиков давления для ракетной и авиационной техники // Измерительная техника. 2009.№ 7. С.35–38;Belozubov E. M., Vasil`ev V.A., Gromkov N.V. Thin-film nano- and micro-electromechanical systems – the basis of contemporary and future pressure sensors for rocket and aviation engineering // Measurement Techniques. 2009. V. 52. N 7. P. 739–744.Belozubov E. M., Vasil`ev V.A., Gromkov N.V. Thin-film nano- and micro-electromechanical systems – the basis of contemporary and future pressure sensors for rocket and aviation engineering // Measurement Techniques. 2009. V. 52. N 7. P. 739–744.Venables, J. Introduction to Surface and Thin Film Processes. Cambridge: Univer. Press, 2000.Venables, J. Introduction to Surface and Thin Film Processes. Cambridge: Univer. Press, 2000.Oura K.е. а. Surface Science: An Introduction. N.Y.:Springer, 2010.Oura K.е. а. Surface Science: An Introduction. N.Y.:Springer, 2010.Hans B., Krause D. Thin Films on Glass. N.Y.:Springer, 2010.Hans B., Krause D. Thin Films on Glass. N.Y.:Springer, 2010.Mahan J. E. Physical Vapor Deposition of Thin Films. USA, N. Y.:Wiley-Interscience. 2000.Mahan J. E. Physical Vapor Deposition of Thin Films. USA, N. Y.:Wiley-Interscience. 2000.Wilkinson S. F., Edwards D. R.The Surface Statistics of a Granular Aggregate // Proc. Roy. Soc.1982.V. 17. P. 17–31.Wilkinson S. F., Edwards D. R.The Surface Statistics of a Granular Aggregate // Proc. Roy. Soc.1982.V. 17. P. 17–31.Kardar M., Parisi G., Zhang Y.-C.Dynamic Scaling of Growing Interfaces // Phys. Rev. Lett. 1986.V. 56. P. 889.Kardar M., Parisi G., Zhang Y.-C.Dynamic Scaling of Growing Interfaces // Phys. Rev. Lett. 1986.V. 56. P. 889.Vicsek M., Vicsek T. Fractal Growth Models // ERCIM News.1997. N29. P. 36.Vicsek M., Vicsek T. Fractal Growth Models // ERCIM News.1997. N29. P. 36.Mattos T.G., Moreira J.G., Atman A.P.F. A discrete method to study stochastic growth equations: a cellular automata perspective // J. Phys. A: Math. Theor. 2007. V.40.13245.Mattos T.G., Moreira J.G., Atman A.P.F. A discrete method to study stochastic growth equations: a cellular automata perspective // J. Phys. A: Math. Theor. 2007. V.40.13245.Bhattacharyya P. Growth of Surfaces Generated by Probabilistic Cellular Automation // Int. J. Modern Physics C.1999. №1. P. 165– 181.Bhattacharyya P. Growth of Surfaces Generated by Probabilistic Cellular Automation // Int. J. Modern Physics C.1999. №1. P. 165– 181.Barabasi A. L., Stanley H.E. Fractal concepts in surface growth. Cambrige: Univ. Press? 1995.Barabasi A. L., Stanley H.E. Fractal concepts in surface growth. Cambrige: Univ. Press? 1995.Russ J. C. The Image Processing Handbook. Boca Raton (USA): CRC Press, 2011.Russ J. C. The Image Processing Handbook. Boca Raton (USA): CRC Press, 2011.Jeung Hun Park, Chae-Ryung Cho. Deposition-Temperature Effects on AZO Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering and Their Physical Properties // Korean Phys. Soc.2006. V. 49.P. 584–588.Jeung Hun Park, Chae-Ryung Cho. Deposition-Temperature Effects on AZO Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering and Their Physical Properties // Korean Phys. Soc.2006. V. 49.P. 584–588.DikovskaA.Og.е. а. Thin ZnO filmsproducedbypulsedlaserdeposition // J.Optoelectronics and Advanced Materials.2005. V. 7.N 3.P. 1329–1334.DikovskaA.Og.е. а. Thin ZnO filmsproducedbypulsedlaserdeposition // J.Optoelectronics and Advanced Materials.2005. V. 7.N 3.P. 1329–1334.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.