izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-520Research ArticleЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЕ ИЗМЕРЕНИЯELECTROMAGNETIC MEASUREMENTSОб оценке погрешностей измерений емкостными датчиками планарной конструкцииРойфеВ. С.roife@mail.ruНаучно-исследовательский институт строительной физики Российской академии архитектуры и строительных наукRussian Federation201307022023095860Copyright © Ройфе В.С., 20232023Ройфе В.С.Ройфе В.С.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.izmt.ru/jour/article/view/520

Приведены и проанализированы факторы, влияющие на инструментальную погрешность измерений емкостными датчиками планарной конструкции. Даны рекомендации по минимизации влияния этих факторов.

The factors governing the value of instrumental error of measurements by planar construction capacitive sensors are presented and analysed. The recommendations on minimizing of these factors impact are given.

емкостные датчикикомпланарные электродыcapacitive sensorscoplanar electrodesReferencesМатис И. Г. Электроемкостные преобразователи для неразрушающего контроля. Рига: Зинатне, 1982.Матис И. Г. Электроемкостные преобразователи для неразрушающего контроля. Рига: Зинатне, 1982.Бугров А. В. Высокочастотные емкостные преобразователи и приборы контроля качества. М.: Машиностроение,1982.Бугров А. В. Высокочастотные емкостные преобразователи и приборы контроля качества. М.: Машиностроение,1982.Иоссель Ю. Я., Кочанов Э. С., Струнский М. Г. Расчет электрической емкости. Л.: Энергоиздат, 1981.Иоссель Ю. Я., Кочанов Э. С., Струнский М. Г. Расчет электрической емкости. Л.: Энергоиздат, 1981.Эме Ф. Диэлектрические измерения. М.: Химия, 1967.Эме Ф. Диэлектрические измерения. М.: Химия, 1967.Нетушил А. В. и др. Высокочастотный нагрев диэлектриков и полупроводников. М., Л.: Госэнергоиздат, 1969. С. 169–174.Нетушил А. В. и др. Высокочастотный нагрев диэлектриков и полупроводников. М., Л.: Госэнергоиздат, 1969. С. 169–174.Ройфе В. С. Анализ чувствительности емкостных преобразователей влажности планарной конструкции // Измерительная техника. 2006. № 9. С. 67–70; Roife V. S. An analysis of the sensitivity of planar capacitive humidity converters // Measurement Techniques. 2006. V. 49. N 9. P. 946–951.Ройфе В. С. Анализ чувствительности емкостных преобразователей влажности планарной конструкции // Измерительная техника. 2006. № 9. С. 67–70; Roife V. S. An analysis of the sensitivity of planar capacitive humidity converters // Measurement Techniques. 2006. V. 49. N 9. P. 946–951.А. с. №1165967 СССР. Способ определения влажности // В. С. Ройфе, К. Д. Тухарели // Открытия. Изобретения. 1985. № 25.А. с. №1165967 СССР. Способ определения влажности // В. С. Ройфе, К. Д. Тухарели // Открытия. Изобретения. 1985. № 25.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.