izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-517Research ArticleОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯOPTICOPHYSICAL MEASUREMENTSСравнение латеральных разрешений оптического и интерференционного микроскоповЛевинГ. Г.noemail@neicon.ruМоисеевН. Н.noemail@neicon.ruМинаевВ. Л.minaev@vniiofi.ruИлюшинЯ. А.noemail@neicon.ruВсероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измеренийRussian FederationМосковский государственный университет имени М. В. ЛомоносоваRussian Federation201307022023094850Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/517

Проведено сравнение латеральных разрешений оптического и интерференционного микроскопов. Рассмотрено понятие латерального разрешения интерференционного микроскопа на основе измерения фазовой ступени. Приведены результаты экспериментов и численного моделирования.

The comparison of lateral resolutions of optical and interferometric microscopes was carried out. A concept of the interference microscope lateral resolution based on the phase step measurement is considered. The results of experiments and numerical simulations are presented.

интерференционный микроскоплатеральное разрешениефазовая ступенькаinterference microscopelateral resolutionphase stepReferencesСкворцов Г. Е. и др. Микроскопы. Л.: Машиностроение, 1969.Скворцов Г. Е. и др. Микроскопы. Л.: Машиностроение, 1969.Тычинский В. П. Сверхразрешение и сингулярности в фазовых изображениях // УФН. 2008. Т. 178. С. 1205–1214.Тычинский В. П. Сверхразрешение и сингулярности в фазовых изображениях // УФН. 2008. Т. 178. С. 1205–1214.Ковалев А. А., Сухоруков К. А. Восстановление формы волнового фронта при больших изменениях фазы // Измерительная техника. 2004. № 4. С. 17–19; Kovalev A. A., Sukhorukov K. A. Reconstruction of the Shape of a Wavefront in the Presence of Large Phase Changes // Measurement Techniques. 2004. V. 47. N. 4. P. 343–347.Ковалев А. А., Сухоруков К. А. Восстановление формы волнового фронта при больших изменениях фазы // Измерительная техника. 2004. № 4. С. 17–19; Kovalev A. A., Sukhorukov K. A. Reconstruction of the Shape of a Wavefront in the Presence of Large Phase Changes // Measurement Techniques. 2004. V. 47. N. 4. P. 343–347.Andreev V. A., Indukaev K. V. The Problem of Subrayleigh Resolution in Interference Microscopy // J. Rus. Laser Res. 2003. V. 24. N. 3. P. 220–236.Andreev V. A., Indukaev K. V. The Problem of Subrayleigh Resolution in Interference Microscopy // J. Rus. Laser Res. 2003. V. 24. N. 3. P. 220–236.Totzeck M., Tiziani H. J. Interference microscopy of sub-lambda structures: A rigorous computation method and measurements // Opt. Commun. 1997. V. 136. P. 61–74.Totzeck M., Tiziani H. J. Interference microscopy of sub-lambda structures: A rigorous computation method and measurements // Opt. Commun. 1997. V. 136. P. 61–74.Yee K. Numerical solution of initial boundary value problems involving Maxwell’s equations in isotropic media // IEEE Trans. Antennas and Propagation. 1966. V. 14. P. 302–307.Yee K. Numerical solution of initial boundary value problems involving Maxwell’s equations in isotropic media // IEEE Trans. Antennas and Propagation. 1966. V. 14. P. 302–307.Минаев В. Л. Интерференционный микроскоп для измерения формы поверхности в микро- и нанодиапазонах // Метрология. 2012. № 7. C. 19–24.Минаев В. Л. Интерференционный микроскоп для измерения формы поверхности в микро- и нанодиапазонах // Метрология. 2012. № 7. C. 19–24.Левин Г. Г. и др. О латеральном разрешении интерференционного микроскопа // Измерительная техника. 2013. № 5. С. 16–19.Левин Г. Г. и др. О латеральном разрешении интерференционного микроскопа // Измерительная техника. 2013. № 5. С. 16–19.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.