izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-513Research ArticleЛИНЕЙНЫЕ И УГЛОВЫЕ ИЗМЕРЕНИЯLINEAR AND ANGULAR MEASUREMENTSИсследование влияния температурных деформаций на точность линейных измеренийБашевскаяО. С.bashevskaya@yandex.ruБушуевС. В.noemail@neicon.ruПодураевЮ. В.noemail@neicon.ruКовальскийМ. Г.noemail@neicon.ruКайнерГ. Б.noemail@neicon.ruРомашЕ. В.noemail@neicon.ruМосковский государственный технологический университет «СТАНКИН»Russian FederationОАО «НИИизмерения»Russian Federation201307022023093436Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/513

Рассмотрено влияние температурных деформаций конструктивных элементов измерительных систем на процесс контроля прецизионных деталей. Предложен и опробован метод определения температурной деформации измерительной стойки, который можно применить к приборам, используемым для линейных измерений в нанометровом диапазоне.

The influence of temperature deformation of construction elements of measuring instruments on the high-precision components control process is considered. A method of determination of measuring stand temperature deformation is suggested and tested. This method is applicable to the used for linear measurements in nanometer range.

линейный размернанометровый диапазонтемпературные деформацииlinear sizenanometer rangetemperature deformationsReferencesМарков Н. Н, Сацердотов П. А. Погрешности от температурных деформаций при линейных измерениях. М.: Машиностроение, 1976.Марков Н. Н, Сацердотов П. А. Погрешности от температурных деформаций при линейных измерениях. М.: Машиностроение, 1976.ГОСТ 8.592–2009. ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления.ГОСТ 8.592–2009. ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления.Кайнер Г. Б. Совершенствование метрологического обеспечения технологий обработки прецизионных деталей в нанометровом диапазоне // Измерительная техника. 2007. № 8. С. 22–27; Kainer G. B. Improvement in metrological provision for processing technology of precision components in the nanometer range // Measurement techniques. 2007. V. 50. N. 8. P. 833–840.Кайнер Г. Б. Совершенствование метрологического обеспечения технологий обработки прецизионных деталей в нанометровом диапазоне // Измерительная техника. 2007. № 8. С. 22–27; Kainer G. B. Improvement in metrological provision for processing technology of precision components in the nanometer range // Measurement techniques. 2007. V. 50. N. 8. P. 833–840.Кайнер Г.Б. Новые методы оценки деформаций при измерении линейных параметров прецизионных деталей в нанометровом диапазоне // Измерительная техника. 2008. № 12. С. 6–10; Kainer G. B. New methods for estimating deformations in measurement of the linear parameters of precision parts in the nanometric range // Measurement techniques. 2008. V. 51. N. 12. P. 1262–1268.Кайнер Г.Б. Новые методы оценки деформаций при измерении линейных параметров прецизионных деталей в нанометровом диапазоне // Измерительная техника. 2008. № 12. С. 6–10; Kainer G. B. New methods for estimating deformations in measurement of the linear parameters of precision parts in the nanometric range // Measurement techniques. 2008. V. 51. N. 12. P. 1262–1268.Кайнер Г. Б. Выбор и назначение методов и средств измерений прецизионных деталей // Измерительная техника. 2007. № 7. С. 11–17; Kainer G. B. Choice and designation of methods and measurement provisions for precision components // Measurement techniques. 2007. V. 50, N. 12. P. 1252–1260.Кайнер Г. Б. Выбор и назначение методов и средств измерений прецизионных деталей // Измерительная техника. 2007. № 7. С. 11–17; Kainer G. B. Choice and designation of methods and measurement provisions for precision components // Measurement techniques. 2007. V. 50, N. 12. P. 1252–1260.Башевская О. С., Кайнер Г. Б., Ромаш Е. В. Комплексная оценка тепловизионным методом состояния доведенных поверхностей в машиностроении // Контроль. Диагностика. 2012. № 12. С.36–42.Башевская О. С., Кайнер Г. Б., Ромаш Е. В. Комплексная оценка тепловизионным методом состояния доведенных поверхностей в машиностроении // Контроль. Диагностика. 2012. № 12. С.36–42.Игнатьев П. С. и др. Применение интерференционной микроскопии для анализа микро- и нанорельефа и дефектов поверхностей крупногабаритных деталей в различных отраслях промышленности // Вестник МГТУ «Станкин». 2011. Т. 2. № 4. С. 150–155.Игнатьев П. С. и др. Применение интерференционной микроскопии для анализа микро- и нанорельефа и дефектов поверхностей крупногабаритных деталей в различных отраслях промышленности // Вестник МГТУ «Станкин». 2011. Т. 2. № 4. С. 150–155.Григорьев С. Н. Тенденции и проблемы модернизации машиностроительного производства на базе отечественного станкостроения // Вестник МГТУ «Станкин». 2010. № 3. С. 7–13.Григорьев С. Н. Тенденции и проблемы модернизации машиностроительного производства на базе отечественного станкостроения // Вестник МГТУ «Станкин». 2010. № 3. С. 7–13.Григорьев С. Н. и др. Контроль параметров процесса резания на основе диагностирования инструмента и заготовки // Измерительная техника. 2012. № 5. С. 46–48; Grigoriev S. N. e. a. Control of parametrs of the cutting process on the basis of diagnostics of the machine tool and workpiece // Measurement techniques. 2012. V. 55. N. 5. P. 555–558.Григорьев С. Н. и др. Контроль параметров процесса резания на основе диагностирования инструмента и заготовки // Измерительная техника. 2012. № 5. С. 46–48; Grigoriev S. N. e. a. Control of parametrs of the cutting process on the basis of diagnostics of the machine tool and workpiece // Measurement techniques. 2012. V. 55. N. 5. P. 555–558.Grigoriev S. N. e. a. Diagnostic systems as basis for technological improvement // Proc. CIRP: Fifth Cirp.Conf. High Performance Cutting 2012/ Wegener K. 2012. V. 1. P. 599–604.Grigoriev S. N. e. a. Diagnostic systems as basis for technological improvement // Proc. CIRP: Fifth Cirp.Conf. High Performance Cutting 2012/ Wegener K. 2012. V. 1. P. 599–604.ГОСТ 8.050-73. ГСИ. Нормальные условия выполнения линейных и угловых измерений.ГОСТ 8.050-73. ГСИ. Нормальные условия выполнения линейных и угловых измерений.Факультет пищевых и химических производств Алтайского государственного технического университета им. И. И. Покрунова. Он-лайн расчет линейной регрессии методом наименьших квадратов [Офиц. сайт] http://www.chem-astu.ru/science/lsq/ (дата обращения 20.04.2013 г.).Факультет пищевых и химических производств Алтайского государственного технического университета им. И. И. Покрунова. Он-лайн расчет линейной регрессии методом наименьших квадратов [Офиц. сайт] http://www.chem-astu.ru/science/lsq/ (дата обращения 20.04.2013 г.).

The authors declare that there are no conflicts of interest present.