izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-443Research ArticleЛИНЕЙНЫЕ И УГЛОВЫЕ ИЗМЕРЕНИЯLINEAR AND ANGULAR MEASUREMENTSАнализ факторов, влияющих на погрешность трёхмерной реконструкции поверхности объектов с субмикрометровым рельефом, по полученным в растровом электронном микроскопе стереоизображениямКузинА. Ю.noemail@neicon.ruВасильевА. Л.noemail@neicon.ruМитюхляевВ. Б.noemail@neicon.ruМихуткинА. А.noemail@neicon.ruТодуаП. А.noemail@neicon.ruФилипповМ. Н.noemail@neicon.ruВсероссийский научно-исследовательский институт метрологической службыRussian FederationИнститут кристаллографии РАНRussian FederationНаучно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуумаRussian FederationНациональный исследовательский центр «Курчатовский институт»Russian FederationМосковский физико-технический институтRussian Federation201607022023032023Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/443

Представлены результаты исследований факторов, влияющих на систематическую погрешность трёхмерной реконструкции рельефа поверхности объектов по полученным в РЭМ S-4800 стереоизображениям. Характерный размер элементов поверхностного рельефа менее 1 мкм. Выявлены основные составляющие указанной погрешности. Показано, что для типичных образцов погрешность измерения параллакса является основным фактором, определяющим систематическую погрешность трёхмерной реконструкции.

The results of analysis are presented of factors influencing the systematic error of 3D reconstruction of surface reliefs, based on stereo images obtained by SEM S-4800. The typical size for the surface relief elements is less than 1 µm. The main sources of the error are found. It is shown that for typical samples the main factor influencing the systematic error of 3D reconstruction is the parallax measurement error.

растровый электронный микроскопстереоизображениятрёхмерная реконструкция поверхностисубмикронный рельефscanning electron microscope (SEM)stereo images3D surface reconstructionsubmicron reliefReferencesGoldstein J., Newbury D., Joy D. Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis// Third Edition. New York: Kluwer Academic, Plenum Publishers, 2003.Goldstein J., Newbury D., Joy D. Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis// Third Edition. New York: Kluwer Academic, Plenum Publishers, 2003.Piazzesi G. Photogrammetry with the scanning electron microscope // J. Phys. E: Sci. Instrum. 1973. V. 6. N. 4. P. 392-396.Piazzesi G. Photogrammetry with the scanning electron microscope // J. Phys. E: Sci. Instrum. 1973. V. 6. N. 4. P. 392-396.Marinello F., Bariani P., Savio E., Horsewel A., Chiffre L. Critical factors in SEM 3D stereo microscopy // Meas. Sci. Technol. 2008. V. 19. N. 6. 065705-1-065705-12. Carli L., Genta G., Cantatore A., Barbato G., Chiffre L., Levi R. Uncertainty evaluation for three-dimensional scanning electron microscope reconstructions based on the stereo-pair technique // Meas. Sci. Technol. 2011. V. 22. N. 3. 035103-1-035103-11.Marinello F., Bariani P., Savio E., Horsewel A., Chiffre L. Critical factors in SEM 3D stereo microscopy // Meas. Sci. Technol. 2008. V. 19. N. 6. 065705-1-065705-12. Carli L., Genta G., Cantatore A., Barbato G., Chiffre L., Levi R. Uncertainty evaluation for three-dimensional scanning electron microscope reconstructions based on the stereo-pair technique // Meas. Sci. Technol. 2011. V. 22. N. 3. 035103-1-035103-11.Bariani P, De Chiffre L, Hansen H. N., Horsewell A. Investigation on the traseability of three-dimensional acaning electron microscope measurements based on the stereo-pair technique // Precis. Eng. 2005. V. 29. Р. 219-228.Bariani P, De Chiffre L, Hansen H. N., Horsewell A. Investigation on the traseability of three-dimensional acaning electron microscope measurements based on the stereo-pair technique // Precis. Eng. 2005. V. 29. Р. 219-228.ГОСТ Р 8.736-2011. ГСИ. Измерения прямые многократные. Методы обработки результатов измерений. Основные положения.ГОСТ Р 8.736-2011. ГСИ. Измерения прямые многократные. Методы обработки результатов измерений. Основные положения.ГОСТ Р 8.636-2007. ГСИ. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки.ГОСТ Р 8.636-2007. ГСИ. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки.Гавриленко В. П., Карабанов Д. А., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Михуткин А. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Баймухаметов Т. Н., Васильев А. Л. Трехмерная реконструкция поверхности рельефных структур по стереоизображениям, полученным в растровом электронном микроскопе // Измерительная техника. 2015. № 3. С. 15-18.Гавриленко В. П., Карабанов Д. А., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Михуткин А. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Баймухаметов Т. Н., Васильев А. Л. Трехмерная реконструкция поверхности рельефных структур по стереоизображениям, полученным в растровом электронном микроскопе // Измерительная техника. 2015. № 3. С. 15-18.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.