izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-309Research ArticleФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯPHYSICOCHEMICAL MEASUREMENTSУчет матричных эффектов при измерениях методом рентгеноспектрального микроанализаЗаблоцкийА. В.MN@filippov.org.ruКузинА. Ю.akuzin@nicpv.ruМихеевН. Н.noemail@neicon.ruСтеповичМ. А.noemail@neicon.ruТодуаП. А.noemail@neicon.ruШироковаЕ. В.noemail@neicon.ruФилипповМ. Н.MN@filippov.org.ruМосковский физико-технический институтRussian FederationНаучно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуумаRussian FederationФилиал Института кристаллографии имени А. В. Шубникова РАН Научно-исследовательский центр "Космическое материаловедение"Russian FederationКалужский государственный университет им. К. Э. ЦиолковскогоRussian FederationИнститут общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАНRussian Federation201307022023075861Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/309

Рассмотрены возможности корректного использования матричных эффектов на поглощение анализируемого рентгеновского характеристического излучения, тормозную способность образца и обратное рассеяние первичных электронов пучка при измерениях методом рентгеноспектрального микроанализа.

The possibilities of correct usage of matrix corrections to the absorption of analysed X-ray characteristic radiation, target stopping power, and backward scattering of primary beam electrons at measurements by the X-ray spectrum microanalysis method are considered.

рентгеноспектральный микроанализкоррекция матричных эффектовтормозная способностьX-ray spectrum microanalysismatrix correctionsstopping powerReferencesМихеев Н. Н., Степович М. А., Широкова Е. В. Функция распределения по глубине рентгеновского характеристического излучения при локальном электронно-зондовом анализе // Изв. РАН. Сер. физическая. 2010. Т. 74. № 7. С. 1043–1049.Михеев Н. Н., Степович М. А., Широкова Е. В. Функция распределения по глубине рентгеновского характеристического излучения при локальном электронно-зондовом анализе // Изв. РАН. Сер. физическая. 2010. Т. 74. № 7. С. 1043–1049.Лаврентьев Ю. Г., Королюк В. Н., Усова Л. В. Второе поколение методов коррекции в рентгеноспектральном микроанализе: аппроксимационные модели функции распределения излучения по глубине // Журнал аналитической химии. 2004. Т. 59. № 7. С. 678–696.Лаврентьев Ю. Г., Королюк В. Н., Усова Л. В. Второе поколение методов коррекции в рентгеноспектральном микроанализе: аппроксимационные модели функции распределения излучения по глубине // Журнал аналитической химии. 2004. Т. 59. № 7. С. 678–696.Михеев Н. Н., Степович М. А., Широкова Е. В. Учет матричных эффектов при локальном электронно-зондовом анализе с использованием новой модели функции распределения по глубине рентгеновского характеристического излучения // Изв. РАН. Сер. физическая. 2012. Т. 76. № 9. С. 1086–1089.Михеев Н. Н., Степович М. А., Широкова Е. В. Учет матричных эффектов при локальном электронно-зондовом анализе с использованием новой модели функции распределения по глубине рентгеновского характеристического излучения // Изв. РАН. Сер. физическая. 2012. Т. 76. № 9. С. 1086–1089.Castaing R., Henoc J. Répartition en profondeur du rayonnement caractéristique // IV Congres Intern. Opt. Rayons X, Microanalyse. Paris, 1966. P. 120–126.Castaing R., Henoc J. Répartition en profondeur du rayonnement caractéristique // IV Congres Intern. Opt. Rayons X, Microanalyse. Paris, 1966. P. 120–126.Green M. The Efficiency of Production of Characteristic X-Radiation // Thesis University of Cambridge. 1962. P. 246.Green M. The Efficiency of Production of Characteristic X-Radiation // Thesis University of Cambridge. 1962. P. 246.Phillibert J. A metod for calculation the absorption correction in electron probe microanalysis // Proc. 3rd Int. conf. X-ray Optics and Microanalysis / Ed. H.H. Pattee e. a. N. Y.: Academic.1963. P. 379–392.Phillibert J. A metod for calculation the absorption correction in electron probe microanalysis // Proc. 3rd Int. conf. X-ray Optics and Microanalysis / Ed. H.H. Pattee e. a. N. Y.: Academic.1963. P. 379–392.Основы рентгеноспектрального локального анализа / Пер. с англ., под ред. И. Б. Боровского. М.: Наука, 1973.Основы рентгеноспектрального локального анализа / Пер. с англ., под ред. И. Б. Боровского. М.: Наука, 1973.Михеев Н. Н., Петров В. И., Степович М. А. Количественный анализ материалов полупроводниковой оптоэлектроники методами растровой электронной микроскопии // Изв. АН СССР. Сер. физическая. 1991. Т. 55. № 8. С. 1474–1482.Михеев Н. Н., Петров В. И., Степович М. А. Количественный анализ материалов полупроводниковой оптоэлектроники методами растровой электронной микроскопии // Изв. АН СССР. Сер. физическая. 1991. Т. 55. № 8. С. 1474–1482.Дарьян Ж., Кастен Р. Экспериментальное определение поправки на обратное рассеяние электронов // В кн. «Основы рентгеноспектрального локального анализа» / Пер. с англ., под ред. И. Б. Боровского. М.: Наука, 1973. С. 101–108.Дарьян Ж., Кастен Р. Экспериментальное определение поправки на обратное рассеяние электронов // В кн. «Основы рентгеноспектрального локального анализа» / Пер. с англ., под ред. И. Б. Боровского. М.: Наука, 1973. С. 101–108.Castaing R. Electron probe Microanalysis // Adv. Electronics, Electron Phys. 1960. V. 13. P. 317–386.Castaing R. Electron probe Microanalysis // Adv. Electronics, Electron Phys. 1960. V. 13. P. 317–386.Green M. The Target Absorption, Correction in X-Ray Microanalysis // Proc. 3rd Int. conf. X-ray Optics and Microanalysis / Ed. H. H. Pattee e. a. N. Y.: Academic.1963. P. 361–378.Green M. The Target Absorption, Correction in X-Ray Microanalysis // Proc. 3rd Int. conf. X-ray Optics and Microanalysis / Ed. H. H. Pattee e. a. N. Y.: Academic.1963. P. 361–378.Михеев Н. Н., Степович М. А., Широкова Е. В. Распределение средних потерь энергии пучка электронов по глубине образца: применение в задачах количественного рентгеноспектрального микроанализа // Тез. докл. XXIV Рос. конф. по электронной микроскопии. Черноголовка: ИПТМ РАН, 2012. С. 289.Михеев Н. Н., Степович М. А., Широкова Е. В. Распределение средних потерь энергии пучка электронов по глубине образца: применение в задачах количественного рентгеноспектрального микроанализа // Тез. докл. XXIV Рос. конф. по электронной микроскопии. Черноголовка: ИПТМ РАН, 2012. С. 289.Электронно-зондовый микроанализ / Пер. с англ., под ред. И. Б. Боровского. М.: Мир, 1974.Электронно-зондовый микроанализ / Пер. с англ., под ред. И. Б. Боровского. М.: Мир, 1974.Green M., Cosslett V. E. The efficiency of product of characteristic x-radiation in thick targets of pure elements // Proc. Roy. Soc. 1961. V.78. P. 1206.Green M., Cosslett V. E. The efficiency of product of characteristic x-radiation in thick targets of pure elements // Proc. Roy. Soc. 1961. V.78. P. 1206.Green M., Cosslett V. E. Measurements of K, L and M shell X-ray production efficiencies // J. Phys. D. 1968. V.1. P. 425–436.Green M., Cosslett V. E. Measurements of K, L and M shell X-ray production efficiencies // J. Phys. D. 1968. V.1. P. 425–436.Zeibold T. O. Thernary Diffusion in Copper-Silver-Gold Alloy: Ph. D. Thesis. Massachusetts Institute of Technology, 1965.Zeibold T. O. Thernary Diffusion in Copper-Silver-Gold Alloy: Ph. D. Thesis. Massachusetts Institute of Technology, 1965.Пул Д. Прогресс в определении поправки на эффект атомного номера // В кн. «Основы рентгеноспектрального локального анализа» / Пер. с англ., под ред. И. Б. Боровского. М.: Наука, 1973. С. 28–68.Пул Д. Прогресс в определении поправки на эффект атомного номера // В кн. «Основы рентгеноспектрального локального анализа» / Пер. с англ., под ред. И. Б. Боровского. М.: Наука, 1973. С. 28–68.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.