izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-284Research ArticleНАНОМЕТРОЛОГИЯРезистивные газовые сенсоры с повышенной чувствительностью к спиртам на основе нанокристаллических плёнок окислов олова с аддитивами тербия и сурьмыГуляевА. М.guljaev@mpei.ruСарачО. Б.noemail@neicon.ruА КотовВ. .noemail@neicon.ruВанинА. А.noemail@neicon.ruАнуфриевЮ. В.noemail@neicon.ruКоноваловА. В.noemail@neicon.ruНациональный исследовательский университет "МЭИ"Russian FederationИнститут нанотехнологии микроэлектроники РАНRussian Federation201707022023073436Copyright © Гуляев А.М., Сарач О.Б., А Котов В..., Ванин А.А., Ануфриев Ю.В., Коновалов А.В., 20232023Гуляев А.М., Сарач О.Б., А Котов В..., Ванин А.А., Ануфриев Ю.В., Коновалов А.В.Гуляев А.М., Сарач О.Б., А Котов В..., Ванин А.А., Ануфриев Ю.В., Коновалов А.В.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.izmt.ru/jour/article/view/284

Изготовлены резистивные газовые сенсоры на основе нанокристаллических плёнок оксидов олова с аддитивами тербия и сурьмы. Исследованы чувствительность и её температурная зависимость, избирательность и временные зависимости реакции сенсоров на реагенты. Установлена высокая чувствительность сенсоров к спиртам, а также к толуолу и ортокреозолу по сравнению с ацетоном, бензолом, глицерином, диэтилгликолем.

The thin SnO2-X-Tb,Sb nanocrystalline films for resistive gas sensors were prepared reactive magnetron evaporation. The sensors have very high sensitivity to methyl, ethyl, isopropyl, propanol, butanol spirites, not so high sensitivity to toluol, ortocryosol and have no reaction on acetone, bensol, glyzerin, diethylglycol. The temperature and dose dependences of the sensors sensitivity were investigated.

резистивные газовые сенсорыредкоземельные металлынанокристаллические плёнкиgas resistive sensorsnanocrystalline filmsReferencesКривцов В. В., Румянцева М. Н., Гаськов А. М. Химически модифицированные нанокристаллические оксиды олова для селективных газовых сенсоров // Успехи химии. 2013. Т. 82. № 10. С. 917-941.Кривцов В. В., Румянцева М. Н., Гаськов А. М. Химически модифицированные нанокристаллические оксиды олова для селективных газовых сенсоров // Успехи химии. 2013. Т. 82. № 10. С. 917-941.Soumen Das, Jayaraman V. SnO2: A comprehensive review on structures and gas sensors // Progress in Materials Sci. 2014. No. 66. P. 112-255.Soumen Das, Jayaraman V. SnO2: A comprehensive review on structures and gas sensors // Progress in Materials Sci. 2014. No. 66. P. 112-255.Korotcenkov G., Cho B. K. Metal oxide composites in conductometric gas sensors: achievements and challenges // Sensors and Actuators B: Chemical. 2016. No.12. P. 117.Korotcenkov G., Cho B. K. Metal oxide composites in conductometric gas sensors: achievements and challenges // Sensors and Actuators B: Chemical. 2016. No.12. P. 117.Shik Chi Tsang, Colin Bulpitt. Rare earth oxide sensors for ethanol analysis //Sensors and Actuators B 52. 1998. P. 226-235.Shik Chi Tsang, Colin Bulpitt. Rare earth oxide sensors for ethanol analysis //Sensors and Actuators B 52. 1998. P. 226-235.Hamide Mohammad Alihaa, Abbas Ali Khodadadia,b, Yadollah Mortazavia. The sensing behaviour of metal oxides (ZnO, CuO and Sm2O3) doped-SnO2 for detection of low concentrations of chlorinated volatile organic compounds // Sensors and Actuators B. 2013. V. 181. P. 637- 643.Hamide Mohammad Alihaa, Abbas Ali Khodadadia,b, Yadollah Mortazavia. The sensing behaviour of metal oxides (ZnO, CuO and Sm2O3) doped-SnO2 for detection of low concentrations of chlorinated volatile organic compounds // Sensors and Actuators B. 2013. V. 181. P. 637- 643.Gurpreet Singh, RengasamyThangaraj, Ravi Chand Singhn. Effect of crystallitesize, Raman surface mode sand surface basic it on the gas sensing behavior of terbium-doped SnO2 nanoparticles // Ceramics Intern. 2015. V. 42. Iss. 3. P. 3725-4636.Gurpreet Singh, RengasamyThangaraj, Ravi Chand Singhn. Effect of crystallitesize, Raman surface mode sand surface basic it on the gas sensing behavior of terbium-doped SnO2 nanoparticles // Ceramics Intern. 2015. V. 42. Iss. 3. P. 3725-4636.Guljaev A. M., Sarach O. B., Vanin A. A., Slepneva M. A. The «Electronic Nose» on the base of nanocrystalline films of tin and rare earth oxides // SPITSE-2014: Simp. Sense/Enable. Ilmenau, Germany, 2014.Guljaev A. M., Sarach O. B., Vanin A. A., Slepneva M. A. The «Electronic Nose» on the base of nanocrystalline films of tin and rare earth oxides // SPITSE-2014: Simp. Sense/Enable. Ilmenau, Germany, 2014.Сарач О. Б. Газовые сенсоры на основе тонких пленок SnO2-X с аддитивом гадолиния // Вестник МЭИ. 2015. № 4. С. 62-66.Сарач О. Б. Газовые сенсоры на основе тонких пленок SnO2-X с аддитивом гадолиния // Вестник МЭИ. 2015. № 4. С. 62-66.Гуляев А. М., Мухина О. Б., Варлашев И. Б., Сарач О. Б., Титов А. В., Бурцев М. С., Прохоров В. В. Особенности технологии и свойства тонкопленочных сенсоров на основе SnO2, полученных реактивным магнетронным напылением // Сенсор. 2001. С. 10-21.Гуляев А. М., Мухина О. Б., Варлашев И. Б., Сарач О. Б., Титов А. В., Бурцев М. С., Прохоров В. В. Особенности технологии и свойства тонкопленочных сенсоров на основе SnO2, полученных реактивным магнетронным напылением // Сенсор. 2001. С. 10-21.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.