Рассмотрено определение действительных метрологических характеристик мер регулярной шероховатости поверхности с целью распространения измерительных возможностей совершенствуемого Государственного первичного специального эталон единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra ГЭТ 113-2014 на воспроизведение единицы длины шаговых параметров шероховатости Sm. На основе проведённого анализа зарубежных разработок и экспериментальных исследований метрологических характеристик мер единицы длины в латеральном (1D и 2D эталонных решёток) и вертикальном направлениях сформулированы требования к эталонной установке на базе профилометра Form Talysurf PGI и к параметрам калибровки образцов трапецеидальной шероховатости. Разработана система калибровки мер регулярной шероховатости поверхности. Система включает эталонную установку на базе щупового профилометра Form Talysurf PGI (Taylor Hobson, Великобритания) и лазерный интерферометр перемещений XL-80 (Renishaw, Великобритания), а также программно-методическое обеспечение обработки результатов калибровки. Установка предназначена для выявления и программной компенсации систематических погрешностей измерений высотных Ra и шаговых Sm параметров шероховатости. Шкальный лазерный интерферометр перемещений использован для прослеживаемости результатов измерений параметров шероховатости в вертикальном направлении вдоль оси OZ щуповым профилометром Form Talysurf PGI к единице длины – метру. Для прослеживаемости результатов измерений щуповым профилометром Form Talysurf PGI в латеральном направлении вдоль оси ОХ разработана измерительная установка, в которой на подвижном блоке щупа профилометра установлен отражатель лазерного интерферометра перемещений XL-80. Для апробации разработанной системы калибровки мер регулярной шероховатости поверхности откалиброваны решётки с профилем трапецеидального вида и номиналами шагов 20, 50 и 100 мкм. Экспериментально исследован комплект разработанных мер передачи единицы длины в области измерений параметров шероховатости поверхности в латеральном и вертикальном направлениях. Рассчитан и проанализирован бюджет неопределённости измерений, неопределённость калибровки оценена как ±2σ (σ – среднее квадратическое отклонение результатов измерений). Расширенная неопределённость калибровки мер высотных параметров Ra регулярной шероховатости составила 0,0018–0,0032 мкм для мер шероховатости с номинальными значениями 0,03…0,04 мкм. Расширенная неопределённость калибровки мер шаговых параметров Sm регулярной шероховатости составила 0,12–0,36 мкм для мер с номинальными значениями 100, 50, 20 мкм. Комплект откалиброванных с помощью разработанной системы мер высотных и шаговых параметров шероховатости с рассчитанными расширенными неопределённостями калибровки предназначен для передачи средствам измерений единицы длины в области измерений параметров шероховатости поверхности в латеральном и вертикальном направлениях.