izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-1439Research ArticleОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯOPTICOPHYSICAL MEASUREMENTSМетоды калибровки эталонных плазменных излучателей с использованием электронного синхротрона с сильным магнитным полемАневскийС. И.anevsky@vniiofi.ruЗолотаревскийЮ. М.noemail@neicon.ruИвановВ. С.noemail@neicon.ruКрутиковВ. Н.noemail@neicon.ruМинаеваО. А.noemail@neicon.ruМинаевР. В.noemail@neicon.ruЛашковД. Н.noemail@neicon.ruСенинД. С.noemail@neicon.ruВсероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, МоскваRussian Federation201207022023083134Copyright © Аневский С.И., Золотаревский Ю.М., Иванов В.С., Крутиков В.Н., Минаева О.А., Минаев Р.В., Лашков Д.Н., Сенин Д.С., 20232023Аневский С.И., Золотаревский Ю.М., Иванов В.С., Крутиков В.Н., Минаева О.А., Минаев Р.В., Лашков Д.Н., Сенин Д.С.Аневский С.И., Золотаревский Ю.М., Иванов В.С., Крутиков В.Н., Минаева О.А., Минаев Р.В., Лашков Д.Н., Сенин Д.С.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.izmt.ru/jour/article/view/1439

Разработаны методы калибровки вторичных эталонных плазменных излучателей, основанные на использовании синхротрона с сильным магнитным полем, позволяющие решить проблемы как вакуумного сопряжения камеры ускорителя и камеры плазменного излучателя, так и учета степени поляризации синхротронного излучения. Показано, что компарирование характеристик синхротронного излучения накопительного кольца и электронного синхротрона в видимом диапазоне с использованием телескопа и охлаждаемой ПЗС-матрицы обеспечивает абсолютизацию относительного спектра синхротрона.

The methods of calibration of secondary standard plasma sources based on the use of synchrotron with strong magnetic field allowing to solve the problems of vacuum coupling of the accelerator and plasma source chambers and the problem of taking into account the degree of synchrotron radiation polarization were developed. The comparison of the storage ring and the electron synchrotron characteristics of radiation in the visible range using the telescope and the cooled CCD matrix ensures the absolutization of the relative synchrotron spectrum.

плазменные излучателисинхротрон с сильным магнитным полемэлектронное накопительное кольцоПЗС-матрицарадиометры-дозиметрыспектрорадиометрыplasma sourceselectron synchrotron with strong magnetic fieldelectron storage ringCCD matrixradiometersdosimetersspectroradiometersReferencesRichter M. e. a. Metrology of pulsed radiation for 157-nm lithography // Appl. Opt. 2002. V. 41. P. 7167–7172.Richter M. e. a. Metrology of pulsed radiation for 157-nm lithography // Appl. Opt. 2002. V. 41. P. 7167–7172.Banine V. e. a. The relationship between EUV source and the performance of an EUV lithographic system // Proc. SPIE. 2000. V. 3997. P. 126–135.Banine V. e. a. The relationship between EUV source and the performance of an EUV lithographic system // Proc. SPIE. 2000. V. 3997. P. 126–135.Золотаревский В. С. и др. Использование синхротронного излучения для исследования многослойных наноструктур // Измерительная техника. 2010. № 7. C. 32–35;Золотаревский В. С. и др. Использование синхротронного излучения для исследования многослойных наноструктур // Измерительная техника. 2010. № 7. C. 32–35;Zolotarevskii Yu. M. e. a. Use of synchrotron radiation for studying multilayer nanostructures // Measurement Techniques. 2010. V. 53. N 7. P. 772–777.Zolotarevskii Yu. M. e. a. Use of synchrotron radiation for studying multilayer nanostructures // Measurement Techniques. 2010. V. 53. N 7. P. 772–777.Beckhoff B. e. a. High-accuracy EUV metrology of PTB using synchrotron radiation // Proc. SPIE. 2001. N 4344. P. 402–413.Beckhoff B. e. a. High-accuracy EUV metrology of PTB using synchrotron radiation // Proc. SPIE. 2001. N 4344. P. 402–413.Scholze F., Tummler J., Ulm G. High-accuracy radiometry in the EUV range at the PTB soft x-ray radiometry beamline // Metrologia. 2003. N 40. P. S224–S228.Scholze F., Tummler J., Ulm G. High-accuracy radiometry in the EUV range at the PTB soft x-ray radiometry beamline // Metrologia. 2003. N 40. P. S224–S228.Brandt G. e. a. High-accuracy detector calibration for EUV metrology at PTB // Proc. SPIE. 2002. N 4688. P. 680–689.Brandt G. e. a. High-accuracy detector calibration for EUV metrology at PTB // Proc. SPIE. 2002. N 4688. P. 680–689.Аневский С. И. и др. Спектрорадиометрия оптического излучения. Энциклопедия низкотемпературной плазмы. М.: Наука, 2000. Т. 2. С. 532 –533.Аневский С. И. и др. Спектрорадиометрия оптического излучения. Энциклопедия низкотемпературной плазмы. М.: Наука, 2000. Т. 2. С. 532 –533.Аневский С. И. Исследование характеристик синхротронного излучения первичного и вторичных эталонных источников в режиме большого электронного сгустка // Метрология. 2002. № 1. C. 20–30.Аневский С. И. Исследование характеристик синхротронного излучения первичного и вторичных эталонных источников в режиме большого электронного сгустка // Метрология. 2002. № 1. C. 20–30.Аневский С. И. Эталонные источники синхротронного излучения // Метрология. 2001. № 12. C. 15–30.Аневский С. И. Эталонные источники синхротронного излучения // Метрология. 2001. № 12. C. 15–30.Аневский С. И. и др. Разработка и исследование измерительного комплекса энергетической яркости в области вакуумного и ближнего ультрафиолета на основе ПЗС-матриц // Измерительная техника. 2010. № 7. C. 26–31;Аневский С. И. и др. Разработка и исследование измерительного комплекса энергетической яркости в области вакуумного и ближнего ультрафиолета на основе ПЗС-матриц // Измерительная техника. 2010. № 7. C. 26–31;Anevsky S. I. e. a. Development and study of a radiance measurement system based on a CCD array in the vacuum and near ultraviolet region // Measurement Techniques. 2010. V. 53. N 7. P. 764–771.Anevsky S. I. e. a. Development and study of a radiance measurement system based on a CCD array in the vacuum and near ultraviolet region // Measurement Techniques. 2010. V. 53. N 7. P. 764–771.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.