izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-1384Research ArticleЛИНЕЙНЫЕ И УГЛОВЫЕ ИЗМЕРЕНИЯLINEAR AND ANGULAR MEASUREMENTSМетоды расширения диапазона измерения микрооптоэлектромеханического преобразователя угловых скоростейБусуринВ. И.vbusurin@mai.ruЖегловМ. А.noemail@neicon.ruКоробковВ. В.noemail@neicon.ruФамА. Т.noemail@neicon.ruМосковский авиационный институт (Национальный исследовательский университет)Russian FederationГосударственный научно-исследовательский институт приборостроенияRussian Federation201707022023062832Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/1384

Разработаны методы расширения диапазона измерения микрооптоэлектромеханического преобразователя угловых скоростей на основе оптического туннельного эффекта и алгоритм формирования выходных оптических сигналов. Определена аппроксимирующая функция зависимости длительности выходного импульса микрооптоэлектромеханического преобразователя от угловой скорости.

The methods for expanding the measurement range of microopto-electromechanical (MOEM) angular velocity transducer based on optical tunneling effect (OTE) are developed. Approximating function of dependence of the output pulse duration of MOEM transducer upon angular velocity is determined.

угловая скоростьпреобразовательдинамическое управлениедиапазон измеренияMOEMangular velocitytransducerdynamic controlmeasurement rangeReferencesRobert B. MEMS sensors: past, present and future // Sensor Review. 2007. V. 27 (1). P. 7-13.Robert B. MEMS sensors: past, present and future // Sensor Review. 2007. V. 27 (1). P. 7-13.Косцов Э. Г. Состояние и перспективы микро- и наноэлектромеханики // Автометрия. 2009. № 3. С. 3-52.Косцов Э. Г. Состояние и перспективы микро- и наноэлектромеханики // Автометрия. 2009. № 3. С. 3-52.Мельников В. Е., Мельникова Е. Н., Черноморский А. И., Гончаренко Г. Г. Датчики инерциальной информации. М.: МАИ-ПРИНТ, 2011.Мельников В. Е., Мельникова Е. Н., Черноморский А. И., Гончаренко Г. Г. Датчики инерциальной информации. М.: МАИ-ПРИНТ, 2011.Распопов В. Я. Микромеханические приборы. М.: Машиностроение, 2007.Распопов В. Я. Микромеханические приборы. М.: Машиностроение, 2007.Бусурин В. И., Горшков Б. Г., Коробков В. В. Волоконно-оптические информационно-измерительные системы. М.: МАИ, 2012.Бусурин В. И., Горшков Б. Г., Коробков В. В. Волоконно-оптические информационно-измерительные системы. М.: МАИ, 2012.Busurin V. I., Naing H. L., Pham A. T. Investigation of microopto-eletromechanical angular velocity and acceleration transducers based on optical tunneling effect // Physics Procedia. 2015. V. 73. P. 198-204.Busurin V. I., Naing H. L., Pham A. T. Investigation of microopto-eletromechanical angular velocity and acceleration transducers based on optical tunneling effect // Physics Procedia. 2015. V. 73. P. 198-204.Бусурин В. И., Фам А. Т. Микрооптоэлектромеханический преобразователь угловых скоростей на основе оптического туннельного эффекта // Автометрия. 2016. Т. 52. № 2. С. 124-130.Бусурин В. И., Фам А. Т. Микрооптоэлектромеханический преобразователь угловых скоростей на основе оптического туннельного эффекта // Автометрия. 2016. Т. 52. № 2. С. 124-130.Пат. 2566384 РФ. Микрооптоэлектромеханический двухосевой датчик угловой скорости и линейного ускорения / Бусурин В. И., Жеглов М. А., Коробков В. В., Фам А. Т. // Изобретения. Полезные модели. 2015. № 30.Пат. 2566384 РФ. Микрооптоэлектромеханический двухосевой датчик угловой скорости и линейного ускорения / Бусурин В. И., Жеглов М. А., Коробков В. В., Фам А. Т. // Изобретения. Полезные модели. 2015. № 30.Ким Д. П. Теория автоматического управления. Т. 1. Линейные системы. М.: ФИЗМАЛИТ, 2010.Ким Д. П. Теория автоматического управления. Т. 1. Линейные системы. М.: ФИЗМАЛИТ, 2010.Khalil H. K. Nonlinear systems, 3rd Edition. Prentice Hall, Upper Saddle River, 2002.Khalil H. K. Nonlinear systems, 3rd Edition. Prentice Hall, Upper Saddle River, 2002.Min H. B. Handbook of sensors and actuators - 8: micro mechanical transducers pressure sensors, accelerometers and gyroscopes. Elsevier Press, 2000.Min H. B. Handbook of sensors and actuators - 8: micro mechanical transducers pressure sensors, accelerometers and gyroscopes. Elsevier Press, 2000.Ramyar R., Momeni H. System dynamics and adaptive control for MEMS gyroscope sensor // International Journal of Advanced Robotic Systems. 2010. V. 7 (4). P. 77-82.Ramyar R., Momeni H. System dynamics and adaptive control for MEMS gyroscope sensor // International Journal of Advanced Robotic Systems. 2010. V. 7 (4). P. 77-82.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.