izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-1317Research ArticleК ЮБИЛЕЮ ВНИИОФИОценка уровня шумов фазовых изображений, получаемых при помощи сдвигового интерференционного микроскопаЛатушкоМ. И.latushko@vniiofi.ruВсероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измеренийRussian Federation2015070220230113840Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/1317

Описана методика оценки уровней пространственных и временных шумов фазовых изображений, полученных на сдвиговом интерференционном микроскопе. Приведены экспериментальные результаты при работе микроскопа с когерентным лазерным и низкокогерентным светодиодным излучением.

In this paper a method of estimation of spatial and temporal noise levels at phase images acquired by means of shearing interference microscope is described. Experimental results for a microscope working at coherent laser and low-coherent LED radiation are presented.

метод фазовых шаговсдвиговый интерферометринтерференционный микроскопуровень пространственных и временных шумовphase stepping methodshearing interferometerinterference microscopespatial and temporal noise levelsReferencesВишняков Г. Н., Левин Г. Г., Минаев В. Л., Цельмина И. Ю. Интерференционная микроскопия субнанометрового разрешения по глубине. Экспериментальные результаты // Оптика и спектроскопия. 2014. Т. 116. № 1. С. 170-175.Вишняков Г. Н., Левин Г. Г., Минаев В. Л., Цельмина И. Ю. Интерференционная микроскопия субнанометрового разрешения по глубине. Экспериментальные результаты // Оптика и спектроскопия. 2014. Т. 116. № 1. С. 170-175.Левин Г. Г., Вишняков Г. Н., Минаев В. Л. Автоматизированный интерференционный микроскоп для измерения динамических объектов // Приборы и техника эксперимента. 2014. № 1. С. 79-84.Левин Г. Г., Вишняков Г. Н., Минаев В. Л. Автоматизированный интерференционный микроскоп для измерения динамических объектов // Приборы и техника эксперимента. 2014. № 1. С. 79-84.Vishnyakov G., Levin G., Minaev V., Nekrasov N. Advanced method of phase shift measurement from variances of interferogram differences // Appl. Opt. 2015. V. 54. N. 15. P. 4797-4804.Vishnyakov G., Levin G., Minaev V., Nekrasov N. Advanced method of phase shift measurement from variances of interferogram differences // Appl. Opt. 2015. V. 54. N. 15. P. 4797-4804.Nguyen T. H., Popescu G. Spatial Light Interference Microscopy (SLIM) using twisted-nematic liquid-crystal modulation // Biomed. Opt. Express. 2013. V. 4. N. 9. P. 1571-1583.Nguyen T. H., Popescu G. Spatial Light Interference Microscopy (SLIM) using twisted-nematic liquid-crystal modulation // Biomed. Opt. Express. 2013. V. 4. N. 9. P. 1571-1583.Girshovitz P., Shaked N. T. Compact and portable low-coherence interferometer with off-axis geometry for quantitative phase microscopy and nanoscopy // Opt. Express. 2013. V. 21. N. 5. P. 5701-5714.Girshovitz P., Shaked N. T. Compact and portable low-coherence interferometer with off-axis geometry for quantitative phase microscopy and nanoscopy // Opt. Express. 2013. V. 21. N. 5. P. 5701-5714.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.