Рассмотрена методика измерения параметров шероховатости полированной поверхности в нанометровом диапазоне с помощью интерференционного микроскопа с автоматической расшифровкой интерферограмм по методу фазовых шагов.
The procedure of measurement of parameters of the polished surface roughness in nanometer range by means of Linnik interference microscope with automatic decoding of interference patterns by phase steps method is considered.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.