Описана конструкция инфракрасного микрорасходомера газа, базирующегося на измерениях расхода по энергетической светимости поверхности теплочувствительного элемента - спирали, нагретой до 1270 К. Максимальные выходной сигнал расходомера 30 В, чувствительность 4,5 В/(мг·с-1), относительная погрешность 0,2-0,5 %.
The new design of infrared gas micro flow meter based on a principle of measurement of gas flow rate by radiance of a surface of a heat-sensitive element - the spiral heated up to high (~1270 К) temperatures that provides temperature autonomy of a flow meter has been created. The maximum output signal and the sensitivity of flow meter are 30 V and 4,5 V/(mg·s-1), respectively, the relative error is no more than 0,2-0,5 %.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.