izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-11Research ArticleМЕХАНИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯMECHANICAL MEASUREMENTSИзмерение перемещений микрообъектов гетеродинным методомТитовА. А.dor7338@mail.ruМосковский технологический университетRussian Federation201707022023023942Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/11

Разработана структурная схема устройства для измерения гетеродинным методом перемещений микрообъектов. Получены аналитические выражения для расчёта мощности сигнала фотоприёмника, периодов интерференционных картин, диапазона измерения, максимального расстояния до объекта, минимального перемещения объекта, точности измерения, что позволило определить основные параметры устройства.

Design and estimation of parameters of the device for measurement of displacements of micro objects by a heterodyne method are considered. The block diagram of the device is developed. Analytical expressions for calculation of power of a signal on a photo detector, the periods of interferential pictures, range of measurement, the maximum distance to an object, minimum displacement, and measurement accuracy are received. They gave ability to determine key parameters of the device.

лазеракустооптический модуляторобъективфотоприёмникфазометрфазовый детекторlaseracoustic-optical modulatorobjectivephoto detectorphase meterphase detectorReferencesМусьяков М. П., Миценко И. Д. Оптико-электронные системы ближней дальнометрии. М.: Советское радио. 1991.Мусьяков М. П., Миценко И. Д. Оптико-электронные системы ближней дальнометрии. М.: Советское радио. 1991.Дарзнек С. А., Календин В. В., Новиков Ю. А. Лазерный интерферометрический измеритель нано перемещений // Труды института общей физики им. А.М. Прохорова. 2006. Т. 62. С. 14-36.Дарзнек С. А., Календин В. В., Новиков Ю. А. Лазерный интерферометрический измеритель нано перемещений // Труды института общей физики им. А.М. Прохорова. 2006. Т. 62. С. 14-36.Базыкин С. Н., Базыкина Н. А., Васильев В. А., Шошкина М. Н. Оптические схемы информационно-измерительных систем на основе лазерных интерферометров // Современные проблемы науки и образования. 2015. № 1 (часть 1).Базыкин С. Н., Базыкина Н. А., Васильев В. А., Шошкина М. Н. Оптические схемы информационно-измерительных систем на основе лазерных интерферометров // Современные проблемы науки и образования. 2015. № 1 (часть 1).Титов А. А., Амурский В. Б., Гарипов. В. К. Методы построения и расчета лазерных измерительных и запоминающих устройств. М.: Машиностроение. 2008.Титов А. А., Амурский В. Б., Гарипов. В. К. Методы построения и расчета лазерных измерительных и запоминающих устройств. М.: Машиностроение. 2008.Скиданов Р. В., Порфирьев А. П., Ганчевская С. В. Манипуляции микрообъектами с помощью линейных ловушек, формируемых вихревыми аксиконами // Компьютерная оптика. 2014. Т. 18. № 4. С. 717-721.Скиданов Р. В., Порфирьев А. П., Ганчевская С. В. Манипуляции микрообъектами с помощью линейных ловушек, формируемых вихревыми аксиконами // Компьютерная оптика. 2014. Т. 18. № 4. С. 717-721.Заказнов Н. П. Теория оптических систем. М.: Машиностроение. 1992. Титов А. А. Измерение вибраций проводов линий электропередач гетеродинным методом // Измерительная техника. 2011. № 7. С. 34-36.Заказнов Н. П. Теория оптических систем. М.: Машиностроение. 1992. Титов А. А. Измерение вибраций проводов линий электропередач гетеродинным методом // Измерительная техника. 2011. № 7. С. 34-36.Титов А. А. О формировании двухканальной системы измерения перемещений гетеродинным методом // Измерительная техника. 2006. № 10. С. 29-31.Титов А. А. О формировании двухканальной системы измерения перемещений гетеродинным методом // Измерительная техника. 2006. № 10. С. 29-31.Титов А. А. Измерение вибраций проводов линий электропередач гетеродинным методом // Измерительная техника. 2011. № 7. С. 34-36.Титов А. А. Измерение вибраций проводов линий электропередач гетеродинным методом // Измерительная техника. 2011. № 7. С. 34-36.Климков Ю. М. Основы расчета оптико-электронных приборов с лазерами. М.: Советское радио. 1978.Климков Ю. М. Основы расчета оптико-электронных приборов с лазерами. М.: Советское радио. 1978.Ребрин Ю. К. Управление оптическим лучом в пространстве. М.: Советское радио. 1977.Ребрин Ю. К. Управление оптическим лучом в пространстве. М.: Советское радио. 1977.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.