Даны оценки теплового воздействия электронного зонда при низковольтном рентгеноспектральном микроанализе с нанометровой локальностью. Показано, что для большинства неорганических материалов тепловые эффекты не важны, несмотря на значительный рост объёмной плотности мощности, обусловленной электронным облучением. Для органических материалов эти эффекты могут существенно влиять на результаты и вызывать разрушение образца.
Evaluation is made of thermal influence of the electron probe in the low-voltage x-ray nanoanalysis. It is shown that despite significant increase in volumetric power density, due to electron irradiation, for most inorganic materials thermal effects are of no significance. For orogenic materials, these effects can significantly affect the results, causing destruction of a sample.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.